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什么是晶圓搬送機

分類:行業動態 發布時間:2023-02-24 8006次瀏覽

晶圓搬送機從字面上看是搬送晶圓的設備,其實它的功能遠不止于此,下面匯光科技簡單和大家介紹什么是晶圓搬送機。

隨著半導體行業發展,晶圓搬送機設計也更加滿足產線檢測需求,為了讓大家更好的了解什么是晶圓搬送機,匯光科技小編給大家簡單介紹舜宇晶圓搬送機AWL812工作流程。

晶圓搬送機

1、FOUP裝載晶圓。晶圓搬送機AWL812可選擇不同類型的晶圓盒,通過掃碼槍,可快速準確識別不同的晶圓卡匣。

2、完成Wafer傳片工作。采用雙手臂四軸機械師,可自動取放晶圓。

3、對Wafer進行自動準確Notch/平邊定位,Wafer ID讀取。

4、Wafer宏觀檢查。通過操作桿可觀察晶圓正面、背面檢查,包括Wafer邊緣,中心檢查等,可輕松檢出晶圓表面臟污、缺陷等。

5、Wafer微觀檢測。用高倍顯微鏡進行檢測分析,采用專用分析軟件,支持多種觀察方式,可排查微米級異常。

晶圓搬送機AWL812采用全新電動控制系統,支持4~12寸Wafer檢測,大大提高檢測效率,值得推薦。

現如今,品牌晶圓搬送機并不多,奧林巴斯晶圓搬送機、國產舜宇晶圓搬送機大家都可以多了解,穩定性高,適用于多種尺寸Wafer檢測,我司授權代理,也做過許多相關案例,真誠期待與您合作。

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