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半導體封裝鍵合測試

分類:行業動態 發布時間:2023-08-04 5370次瀏覽

在半導體封裝鍵合測試領域,鍵合界面的一系列力學行為以及鍵合的可靠性都與IMC存在密切的關系。IMC含量過低時,金屬間原子滲透擴散程度低,結合程度不夠,容易脫焊;IMC含量過高時,會導致脆性增大,影響焊點機械強度及壽命。因此,IMC含量測定在封裝領域是非常重要的檢測項目。匯光科技有專用的IMC測定系統,下面簡單和大家介紹其功能。

半導體封裝鍵合測試設備

 

●隨著芯片集成度的提高,焊球也縮小到直徑僅數十微米,為保證測量準確性,需要在500X/1000X下拍攝焊球圖像。而焊球高度一般為10um左右,受物鏡景深限制,已無法在一個焦面上觀察到焊球整體清晰的圖像。為此,軟件提供了多種景深擴展拍照模式,幫助用戶獲得高倍超景深圖像。

●一體化系統設計,與顯微鏡及外圍硬件互聯互通,交互友好;操作簡單、上手快速,無需復雜培訓;操作界面簡潔,一鍵統計分析、自動圖文報表。

●多種ROI繪制工具,輕松勾勒焊球邊界。IMC含量測定首先需確定焊球面積;不同工藝下,焊球圖像的可識別性有較大差別。為快速準確的計算焊球面積,軟件提供了多種工具,可自動識別或手動勾勒焊球邊界。

半導體封裝鍵合測試軟件自動邊界識別

自動邊界識別。軟件自動對圖像進行分析,根據焊球的顏色及形態特征自動識別焊球邊界。

圓工具。當圖像對比度不足無法自動識別且焊球接近圓形時,使用圓工具勾勒。

橢圓工具。當圖像對比度不足無法自動識別且焊球接近橢圓圓形時,使用橢圓工具勾勒。

多邊形工具。 當焊球形狀特殊且無法自動識別時,使用多邊形工具勾勒。

●支持人工分割或預設閾值,快速識別Non-IMC。軟件采用識別Non-IMC的方式來反向計算IMC含量,降低識別難度,減少人為誤差。支持人工分割或預設閾值分割兩種方式,兼顧精度與效率。

半導體封裝鍵合測試系統支持單圖、批量等多種處理模式。

●一次測量,獲得多項監控參數。軟件完成測量后可同時輸出:IMC含量、non-IMC含量、更大單個non-IMC占比、焊球尺寸等多項監控參數。用戶還可根據工藝要求設置控制規格,軟件自動判斷測量結果是否合格。

●豐富的數據輸出方式。軟件提供多種不同的數據輸出方式,應對各種不同的報告需求。

●光電聯用(選購模塊)。選購電鏡(EM)模塊,軟件自動解析日立、FEI、TESCAN及日本電子等多種電鏡所拍照片的放大倍數和標尺信息,可直接測量分析,無需額外標定,避免標定帶來的人為誤差。

●提供多種常規測量模組,一專多能。除了專業的IMC測量,軟件還提供多種常規測量模塊,用于解決用戶專業領域外的其他測量應用。

半導體封裝鍵合測試系統圖像智能歸檔

●大視野圖像采集(MIA)

●自動聚焦(選購模塊)。通過控制電動Z軸的升降及實時圖像識別,實現快速地樣品自動聚焦。

●電動拍照(選購模塊)。半導體封裝鍵合測試設備聯合控制電動臺和聚焦組件,僅需設置拍照路線,軟件多點MIA+EFI聯動,獲得大視野超景深圖像。特別是針對同規格多個樣品多點焊球檢查需求,配置首件樣品拍照點位,即可實現全部樣品全部焊球的批量拍照和測量,極大的提高工作效率。

感謝大家的耐心瀏覽,半導體封裝鍵合測試系統還是非常受歡迎的,若貴司有采購需求,歡迎您來我司咨詢選購.

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