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晶圓檢查系統
AWL系列晶圓檢查系統

分類(lei):晶圓檢查系統 發布時間(jian):2020-12-14 20891次(ci)瀏覽

AWL系列晶圓檢查系統兼具(ju)穩(wen)定性和安全性,能夠安全可靠的傳(chuan)送(song)晶(jing)圓(yuan),適(shi)合在前道(dao)到后道(dao)工程的晶(jing)圓(yuan)檢查。

AWL系列晶圓檢查系統

AWL系列晶圓檢查系統兼具穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)安全性(xing),能夠安全可靠的(de)傳送晶圓(yuan),適(shi)合在(zai)前道(dao)到后道(dao)工(gong)程的(de)晶圓(yuan)檢查。

產品詳情

AWL 系列晶圓檢查系統的顯微鏡


目前,AWL系列晶圓搬(ban)運(yun)機(ji)擁有AWL046、AWL068,AWL812三(san)種機(ji)型,分別可適(shi)用(yong)于(yu) 4/6 英(ying)寸,6/8 英(ying)寸,8/12英(ying)寸的(de)晶圓檢(jian)測,其適(shi)應范圍廣,且(qie)搭(da)配靈活 ,可自由(you)設(she)置(zhi)的(de)檢(jian)查模(mo)式,充分符合人(ren)機(ji)工程(cheng)學設(she)計,操作舒適(shi)、簡(jian)便。

AWL系列晶圓檢查系統

AWL系列晶圓檢查系統優勢

●360°宏觀檢查

360°宏觀檢查

AWL系列晶(jing)(jing)圓檢(jian)查(cha)(cha)(cha)系統(tong)具有宏(hong)觀(guan)檢(jian)查(cha)(cha)(cha)手臂(bei),可(ke)以(yi)(yi)實現(xian)晶(jing)(jing)面宏(hong)觀(guan)檢(jian)查(cha)(cha)(cha)、晶(jing)(jing)背宏(hong)觀(guan)檢(jian)查(cha)(cha)(cha)1的360°旋轉(zhuan),更為容(rong)易發現(xian)傷(shang)痕(hen)和(he)微塵。通過操作桿可(ke)隨(sui)意將晶(jing)(jing)圓傾(qing)斜(xie)觀(guan)察。晶(jing)(jing)面傾(qing)斜(xie)角(jiao)(jiao)度(du)(du)≤70°,晶(jing)(jing)背1傾(qing)斜(xie)角(jiao)(jiao)度(du)(du)≤90°,晶(jing)(jing)背2傾(qing)斜(xie)角(jiao)(jiao)度(du)(du)≤160°,利用旋轉(zhuan)功能、傾(qing)斜(xie) 角(jiao)(jiao)度(du)(du),完(wan)全(quan)可(ke)以(yi)(yi)目視檢(jian)查(cha)(cha)(cha)整個晶(jing)(jing)圓正反(fan)面及邊緣。

●人機工程學設計

晶圓檢查系統的LCD顯示屏

晶圓檢查系(xi)統的LCD顯(xian)示屏,可為(wei)操作者提供更直觀的視覺體(ti)驗,可清晰的顯(xian)示當前檢查項目及次序,調試參(can)數一目了(le)然(ran)。

晶圓檢查系統的手(shou)動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適(shi)度(du)和工作效(xiao)率(lv)。

晶(jing)圓缺陷檢查應用案例

晶圓缺陷檢查

晶圓缺陷檢查

AWL系列晶圓檢查系統技術規格

型號

AWL046

AWL068

晶(jing)圓尺寸(cun)(SEMI 規格)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

晶圓較小厚度

150μm

180μm

開放式(shi)片盒(SEMI Stad.25(26)-slot)

片盒數量

1 Port

檢查模式設置

全檢 / 奇數檢 / 偶(ou)數檢 / 手動(dong)選擇

片盒內晶圓掃描

晶圓預定位

晶圓定位

非接觸式定位平邊 /V 型(xing)槽,支持    0°、90°、180°、270°朝(chao)向設置

檢查功能

微觀檢查

晶面宏觀檢查

晶背宏觀檢查 1

晶背宏觀檢查 2

適配顯微鏡

SOPTOP金相顯微鏡MX68R

載物臺

6 英寸四層機械移動平臺,低手位    X、Y 方向同 軸調節 ;晶圓承片臺,可 360°旋轉    ;移動行程228mm(X 方 向 )×170mm(Y 方 向 ) 觀 察 范 圍 :
                     170mmX170mm ;帶(dai) 離 合 器 手 柄, 可 用(yong) 于 全 行    程范(fan)圍內快速移動 ;

8 英寸四層機械移動平臺,低手位    X、Y 方向同 軸調節 ;晶圓承片臺,可 360°旋轉 , 移動行程280mm(X 方向)×210mm(Y 方向)觀察范圍 :
                     210mm×210mm ;帶離合器手柄,可用于(yu)全行程范圍內快速移(yi)動 ;

電源

1P/220V/16A

真空源

—70KPA

更(geng)多詳情,歡迎大家來(lai)電咨(zi)詢匯光(guang)科技。

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