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- 蘇州工業園區唯新路83號
AWL系列晶圓檢查系統兼具穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)安全性(xing)，能夠安全可靠的(de)傳送晶圓(yuan)，適(shi)合在(zai)前道(dao)到后道(dao)工(gong)程的(de)晶圓(yuan)檢查。
產品詳情
目前，AWL系列晶圓搬(ban)運(yun)機(ji)擁有AWL046、AWL068，AWL812三(san)種機(ji)型，分別可適(shi)用(yong)于(yu) 4/6 英(ying)寸，6/8 英(ying)寸，8/12英(ying)寸的(de)晶圓檢(jian)測，其適(shi)應范圍廣，且(qie)搭(da)配靈活 ，可自由(you)設(she)置(zhi)的(de)檢(jian)查模(mo)式，充分符合人(ren)機(ji)工程(cheng)學設(she)計，操作舒適(shi)、簡(jian)便。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL系列晶(jing)(jing)圓檢(jian)查(cha)(cha)(cha)系統(tong)具有宏(hong)觀(guan)檢(jian)查(cha)(cha)(cha)手臂(bei)，可(ke)以(yi)(yi)實現(xian)晶(jing)(jing)面宏(hong)觀(guan)檢(jian)查(cha)(cha)(cha)、晶(jing)(jing)背宏(hong)觀(guan)檢(jian)查(cha)(cha)(cha)1的360°旋轉(zhuan)，更為容(rong)易發現(xian)傷(shang)痕(hen)和(he)微塵。通過操作桿可(ke)隨(sui)意將晶(jing)(jing)圓傾(qing)斜(xie)觀(guan)察。晶(jing)(jing)面傾(qing)斜(xie)角(jiao)(jiao)度(du)(du)≤70°，晶(jing)(jing)背1傾(qing)斜(xie)角(jiao)(jiao)度(du)(du)≤90°，晶(jing)(jing)背2傾(qing)斜(xie)角(jiao)(jiao)度(du)(du)≤160°，利用旋轉(zhuan)功能、傾(qing)斜(xie) 角(jiao)(jiao)度(du)(du)，完(wan)全(quan)可(ke)以(yi)(yi)目視檢(jian)查(cha)(cha)(cha)整個晶(jing)(jing)圓正反(fan)面及邊緣。
●人機工程學設計
晶圓檢查系(xi)統的LCD顯(xian)示屏，可為(wei)操作者提供更直觀的視覺體(ti)驗，可清晰的顯(xian)示當前檢查項目及次序，調試參(can)數一目了(le)然(ran)。
晶圓檢查系統的手(shou)動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適(shi)度(du)和工作效(xiao)率(lv)。
晶(jing)圓缺陷檢查應用案例
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶(jing)圓尺寸(cun)（SEMI 規格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開放式(shi)片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全檢 / 奇數檢 / 偶(ou)數檢 / 手動(dong)選擇 | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式定位平邊 /V 型(xing)槽，支持 0°、90°、180°、270°朝(chao)向設置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
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