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- 蘇州工業園區唯新路83號
MX8R正置式半導體檢查(cha)顯(xian)微鏡(jing)采用研究級顯(xian)微鏡(jing)RX系列的新照明系統和光學系統,照明均勻,成像清晰。
產品詳情
MX8R正置式半導體檢查顯微鏡采用突破性的大金相機架設計,可承載8英寸超大工作平臺,穩固創新的機械結構更好的滿足專業市場需求。
明場觀察(cha)(透(tou)射(she))
5W大(da)功率LED,配以(yi)N.A.0.5聚光鏡,可以(yi)透照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。
透射(she)照(zhao)(zhao)明與(yu)反射(she)照(zhao)(zhao)明為獨(du)立控(kong)制,即可同時亮(liang),也可單獨(du)亮(liang)。
LCD 10X透射光
明場觀察(反射)
遠心坷拉反射照明系統,配以全(quan)新設計的(de)無限遠平場消色差長工作距金相(xiang)物鏡(jing),從低(di)倍到高(gao)倍,都(dou)能得(de)到清晰、平坦(tan)、明亮(liang)的(de)高(gao)畫(hua)質顯微圖像。
簡易偏光觀察
將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的指定位置,即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉式兩種。
PCB橫截面 20X 偏振(zhen)光
暗場(chang)觀察(cha)
將暗場(chang)照明拉(la)桿拉(la)到指定位(wei)置,即可(ke)使用暗場(chang)功(gong)(gong)能,可(ke)以觀察物體表面(mian)的各(ge)種劃痕(hen)、雜質(zhi)點(dian)及其他細(xi)微缺陷,暗場(chang)功(gong)(gong)能只限于MX8R機型。
FPC 10X 暗場
DIC微分干涉觀察
在正交偏光(guang)的(de)基礎上,插(cha)入(ru)DIC棱鏡(jing)(jing),即可(ke)進行DIC微(wei)分干涉(she)相(xiang)襯觀察。使(shi)用DIC技(ji)術,可(ke)以使(shi)物鏡(jing)(jing)表面微(wei)小的(de)高低差產生(sheng)明(ming)顯的(de)浮雕效(xiao)果,極大的(de)提高圖像(xiang)的(de)對比度(du)。
5X、10X、20X專(zhuan)為(wei)DIC設計(ji),使(shi)得整(zheng)個(ge)視場的干(gan)涉(she)一致,微(wei)分干(gan)涉(she)效果(guo)非常出色,高倍物鏡DIC效果(guo)也較好。
半導體檢查顯微鏡 MX8R產品尺寸圖
MX8R半導體檢查顯微鏡配置參數
型號 | MX8R |
光學系統 | 無限(xian)遠(yuan)色差(cha)校正光學系統(tong) |
觀察方式 | 明場/ 暗場/ 偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察頭,5°~35°傾角可調,倒像,瞳距調節50-76mm, 三檔式分光比:50:50 或(huo)(huo)100:0 或(huo)(huo)0:100 |
無(wu)限遠鉸(jiao)鏈(lian)三通(tong)觀察筒,30°傾(qing)斜(xie),正像(xiang),瞳(tong)距調節: 50-76mm, 分光比100:0 或0:100 | |
無限遠(yuan)鉸鏈三(san)通觀察頭,30°傾(qing)斜,倒(dao)像,瞳(tong)距調節范圍(wei)50-76mm,三(san)檔式分(fen)光比,0 :100 或20 :80 或100 :0 | |
目鏡 | 高眼點大視野(ye)平(ping)場目鏡(jing)PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃板 |
高眼點大視(shi)野平場目(mu)鏡PL10X/26.5mm,視(shi)度可調,可帶單刻(ke)度十(shi)字(zi)分劃板(ban) | |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相(xiang)DIC 物鏡 5X、10X、20X、50X(選配:100X) |
無(wu)限遠長(chang)工作距明(ming)暗場半復消金相DIC 物(wu)鏡20X | |
無限遠長(chang)工作距明(ming)暗(an)場半復消金(jin)相(xiang)物(wu)鏡50X 100X | |
無限遠明場半復消金相DIC 物鏡 | |
轉換器 | 明暗(an)場(chang)五孔(kong)/ 六孔(kong)轉換(huan)器(qi),帶 DIC 插(cha)槽 |
明場(chang)六孔(kong)/ 七孔(kong)轉換(huan)器,帶 DIC 插(cha)槽 | |
調焦機構 | 反射式機架(jia), 前置(zhi)(zhi)低(di)手位(wei)粗微同軸調(diao)焦(jiao)機構。粗調(diao)行程(cheng)33mm, 微調(diao)精度(du)0.001mm. 帶有(you)防止下(xia)滑的調(diao)節松(song)緊(jin)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)和隨機上限位(wei)裝(zhuang)置(zhi)(zhi). 內(nei)置(zhi)(zhi)100-240V 寬(kuan)電壓系統(tong), 帶光亮度(du)設定按鈕與復位(wei)按扭; |
載物臺 | 右手(shou)位(wei)8 英寸三層機(ji)械移(yi)動(dong)平臺(tai)(tai),低手(shou)位(wei)X、Y 方向同軸(zhou)調節;平臺(tai)(tai)面積525mmX330mm,移(yi)動(dong)范圍:210mmX210mm ;帶離合(he)器手(shou)柄(bing),可(ke)用于全行程范圍內快(kuai)速移(yi)動(dong);玻璃載物臺(tai)(tai)板(反射用) |
右手(shou)位6 英寸三層機械移動(dong)平臺(tai),低手(shou)位X、Y 方(fang)向同軸調節;平臺(tai)面積445mmX240mm,移動(dong)范(fan)圍:158mmX158mm ;帶離(li)合器手(shou)柄,可用(yong)于(yu)全行(xing)程(cheng)范(fan)圍內(nei)快速移動(dong);玻璃載物臺(tai)板(反射用(yong)) | |
照明系統 | 明暗場(chang)反射照(zhao)明器, 帶(dai)可變(bian)孔徑光(guang)闌(lan)(lan),視場(chang)光(guang)闌(lan)(lan), 中(zhong)心均可調(diao);帶(dai)明暗場(chang)照(zhao)明切(qie)換裝置(zhi);帶(dai)濾色片插槽與偏光(guang)裝置(zhi)插槽 |
攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調焦 |
其他 | 起(qi)偏鏡(jing)(jing)插(cha)板,固定式檢偏鏡(jing)(jing)插(cha)板,360°旋轉式檢偏鏡(jing)(jing)插(cha)板;反射用干涉濾(lv)色(se)片組;高(gao)精度(du)測微(wei)尺;DIC 微(wei)分干涉組件 |
選配 | 工業相(xiang)機:1000萬(wan)、1500萬(wan)、2000萬(wan),CCD或(huo)CMOS相(xiang)機 |
分(fen)析軟件(jian):自開發專業測(ce)量系統 |