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蘇州工業園區匯光科技有限公司
- 蘇州工業園區唯新路83號
石家莊晶圓切割3D形貌檢測機
晶圓切割3D形貌檢測機，專用行業檢測設備，自動化測量，操作便捷。
產品詳情
晶圓切割3D形貌檢測機應用
（1）崩邊檢測
（2）溝槽深度掃描測量
（3）線條圖形掃描寬度提取
（4）測試位置可以自定義
晶圓切割3D形貌檢測機樣品測試數據
（1）槽深測量
（2）槽寬測量
（3）四個位置的測量結果
晶圓切割3D形貌檢測機樣品測試小結
（1）隨機選取四個鐳射槽的槽寬在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm
（2）測量四個位置自動化所需時間約為2min
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| 槽內干涉條紋圖 | 表面干涉條紋圖 |
樣品三維圖
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