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- 蘇州工業園區唯新路83號
工業(ye)型(xing)原子力顯微鏡AFM主(zhu)要(yao)應用于2~8inch晶圓表面形貌(mao)的綜(zong)合檢測。更多詳情請繼續瀏覽本欄目。
產品詳情
工(gong)業型原(yuan)子(zi)力(li)顯微(wei)鏡(jing)AFM針對產品表面(mian)的形(xing)貌如粗糙度(du)、局部(bu)微(wei)觀輪廓等(deng)有 納米(mi)尺度(du)的檢測能力(li)，提供(gong)原(yuan)子(zi)或近(jin)原(yuan)子(zi)及分辨率的表面(mian)形(xing)貌圖像。
工業型原(yuan)子(zi)(zi)(zi)力顯(xian)微(wei)鏡(jing)AFM的掃面(mian)原(yuan)理(li)是利用針尖原(yuan)子(zi)(zi)(zi)與樣(yang)(yang)品(pin)表面(mian)原(yuan)子(zi)(zi)(zi)間存在(zai)極(ji)微(wei)弱(ruo)的范德華力，得(de)到(dao)樣(yang)(yang)品(pin)三維(wei)表面(mian)形(xing)態(tai)影像(xiang)，包(bao)括(kuo)能夠定量樣(yang)(yang)品(pin)的表面(mian)粗(cu)糙度 到(dao)?等(deng)級，此外工業型原(yuan)子(zi)(zi)(zi)力顯(xian)微(wei)鏡(jing)AFM還能獲得(de)納米(mi)級微(wei)觀結(jie)構形(xing)貌(mao)以及表面(mian)微(wei)觀缺陷等(deng)詳細(xi)信息。
工業型原子力顯微鏡AFM應用案例
●硅晶(jing)圓表面刻(ke)蝕不(bu)規則深孔結構
●SiC晶圓片(pian)（碳化(hua)硅）
●GaAs晶圓片（砷化鎵）
●GaN晶圓(yuan)片（氮化鎵）
●藍寶石外延片（Al2O3）
●玻璃面板、光學玻璃
●微光學器件
●芯片刻蝕結構
●高深寬比光柵
想了解更多工業(ye)型原子(zi)力顯微鏡檢測案例的朋友，歡迎您電話咨詢匯光科技.
工業型原子力顯微鏡技術要求
| 技術參數 | 設備 |
| 工作模式 | 1. 輕敲模(mo)式(shi)（Tapping mode) 2. 接觸模(mo)式（Contact mode） 3. 力(li)曲線測量模式（F-Z 曲線，RMS-Z 曲線） |
| 工作方式 | XYZ 三軸均采用壓電陶(tao)瓷(ci)驅動(dong)探針(zhen)針(zhen)尖進行掃(sao)描(miao)(miao)，工作掃(sao)描(miao)(miao)時樣(yang)品保持不(bu)動(dong)，樣(yang)品大小及重量完全(quan)不(bu)受掃(sao)描(miao)(miao)器的限制(zhi) |
| 激光掃描頭 | 1. 掃描器：三軸(zhou)分(fen)離式(shi)掃描器 2. 掃(sao)描范(fan)圍：XY 方(fang)向(xiang)≥100um*100um，Z 方(fang)向(xiang)≥10um 3. 噪音水平：系統(tong)高度噪音 RMS≤0.05nm 4. 激(ji)光(guang)器：波長 650nm，光(guang)功率≤0.5mW 5. 光(guang)電探測器：波長帶寬 400~1100nm，靈(ling)敏度(du) 6mV/nm |
| XY樣品臺裝置 | 真空吸(xi)附式樣(yang)品(pin)載物臺，直徑(jing)≥200mm；可測試更(geng)大(da)(da)樣(yang)品(pin)直徑(jing)≥250mm，更(geng)大(da)(da)重量≥15kg； 步進電機(ji)驅(qu)動控(kong)制，可任意編程測試點(dian)；樣(yang)品(pin)邊緣位(wei)置(zhi)測量精度(du)及分 辨率(lv)與中心位(wei)置(zhi)保持一致，完全(quan)不受樣(yang)品(pin)臺移動影響(xiang)；樣(yang)品(pin)臺移動行(xing) 程 2000*200mm，重復定位(wei)精度(du) PV 值≤1μm |
| Z向進針系統 | 樣品趨近方式，智(zhi)能自動進針，步進馬(ma)達加(jia)壓電陶(tao)瓷自動探(tan)測的智(zhi)能進針，Z 軸升(sheng)降行程 15mm |
| 手輪搖桿裝置 | 通過(guo)手輪搖(yao)桿可六個自(zi)由度任意控制樣品臺的(de)移動(dong)和(he)(he)樣品的(de)升降，方向和(he)(he)速(su)度均可根(gen)據手感來調節(jie) |
| 輔助光學系統 | 原位光學觀測系統，便于原位觀測和選取測試區域；同軸照明光源設 計；10X 光學物鏡和數字放大；光學顯微較小分辨率≤1μm |
| 整機光電結構 | 龍(long)門架式(shi)大理石(shi)結構，穩定可靠，避免了懸臂(bei)梁結構的彈性(xing)振動；水平和垂(chui)直方向均做(zuo)了機(ji)械平衡性(xing)設計(ji)，有效降低剛性(xing)結構的固有頻率 |
| 防震隔音系統 | 日本進口氣浮式減震臺，固有頻率低至 1.5Hz，密閉式隔音箱系統， 使整臺原子力顯微鏡儀器都處在密閉的隔音箱體內部工作，可有效抑 |
| 控制器系統 | 內置 DSP 處理器(qi)，嵌入式(shi) PID 自整(zheng)(zheng)定智能(neng)調節器(qi)，無需手(shou)動(dong)設置，系統(tong)自動(dong)整(zheng)(zheng)定優化參數(shu)，以 DSP 技術為基礎(chu)實現(xian)完全(quan)數(shu)字反饋控制系統(tong) |
| 在線控制軟件 | 具備接(jie)觸、輕敲、抬高等多(duo)種掃(sao)描模式，多(duo)種掃(sao)描控制、多(duo)通道(dao)信號同時采集和(he)顯示、具備實時在線圖像重構(gou)及測量等功能(neng) |
| 圖像分析軟件 | 具(ju)有數據(ju)導出功能，用戶(hu)(hu)可取得原始數據(ju)；圖像同步(bu)功能，可指定多達(da) 4 個相關圖像同步(bu)處(chu)理；用戶(hu)(hu)任意(yi)定義的(de) 24 位系(xi)統調色(se)板(ban)；圖像 |
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