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- 蘇州工業園區唯新路83號
工業(ye)型原子力顯(xian)微(wei)鏡(jing)AFM主要應用于2~8inch晶圓表面形(xing)貌的綜合(he)檢測(ce)。更多詳(xiang)情(qing)請繼續瀏覽本欄目。
產品詳情
工業(ye)型原(yuan)子力顯(xian)微(wei)鏡AFM針對(dui)產品表面的形貌如粗糙度(du)、局(ju)部微(wei)觀輪廓等有 納米尺(chi)度(du)的檢(jian)測能(neng)力，提供(gong)原(yuan)子或(huo)近原(yuan)子及分(fen)辨率(lv)的表面形貌圖像(xiang)。
工業型原(yuan)(yuan)子(zi)力(li)(li)(li)顯微(wei)(wei)鏡AFM的(de)掃面原(yuan)(yuan)理是利用(yong)針尖原(yuan)(yuan)子(zi)與(yu)樣品表面原(yuan)(yuan)子(zi)間(jian)存在極微(wei)(wei)弱的(de)范德華力(li)(li)(li)，得到樣品三維表面形態影像(xiang)，包括能夠定量樣品的(de)表面粗糙度 到?等級，此(ci)外(wai)工業型原(yuan)(yuan)子(zi)力(li)(li)(li)顯微(wei)(wei)鏡AFM還能獲得納米級微(wei)(wei)觀結構形貌以及表面微(wei)(wei)觀缺陷等詳細(xi)信息(xi)。
工業型原子力顯微鏡AFM應用案例
●硅晶圓表面刻蝕不規(gui)則深孔結構
●SiC晶圓(yuan)片（碳化硅(gui)）
●GaAs晶(jing)圓片（砷(shen)化鎵）
●GaN晶圓片（氮化鎵(jia)）
●藍寶石外延片（Al2O3）
●玻(bo)璃面(mian)板(ban)、光(guang)學玻(bo)璃
●微光學器件
●芯片刻蝕結構
●高深寬比光柵
想了解(jie)更多工業型原子力顯微鏡(jing)檢(jian)測案例的朋友(you)，歡迎您電話咨詢匯光科技.
工業型原子力顯微鏡技術要求
| 技術參數 | 設備 |
| 工作模式 | 1. 輕(qing)敲模式（Tapping mode) 2. 接(jie)觸(chu)模(mo)式（Contact mode） 3. 力曲(qu)線測量模式(shi)（F-Z 曲(qu)線，RMS-Z 曲(qu)線） |
| 工作方式 | XYZ 三軸均采(cai)用(yong)壓電陶瓷驅動(dong)探(tan)針(zhen)針(zhen)尖進行掃描(miao)，工作掃描(miao)時(shi)樣品保持(chi)不動(dong)，樣品大小及重量完全不受掃描(miao)器的限制 |
| 激光掃描頭 | 1. 掃描(miao)器：三軸分離式(shi)掃描(miao)器 2. 掃描范圍：XY 方向(xiang)≥100um*100um，Z 方向(xiang)≥10um 3. 噪音水平：系統高度噪音 RMS≤0.05nm 4. 激(ji)光器：波(bo)長 650nm，光功率≤0.5mW 5. 光電(dian)探(tan)測(ce)器：波長帶(dai)寬 400~1100nm，靈敏度 6mV/nm |
| XY樣品臺裝置 | 真空吸附式樣(yang)品載物臺(tai)(tai)，直(zhi)(zhi)徑≥200mm；可測試(shi)更大(da)(da)樣(yang)品直(zhi)(zhi)徑≥250mm，更大(da)(da)重量≥15kg； 步(bu)進電機驅(qu)動控制(zhi)，可任意編程測試(shi)點；樣(yang)品邊(bian)緣位(wei)置測量精(jing)度及(ji)分 辨率(lv)與中心位(wei)置保持(chi)一致，完全(quan)不受(shou)樣(yang)品臺(tai)(tai)移動影響；樣(yang)品臺(tai)(tai)移動行 程 2000*200mm，重復(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度 PV 值≤1μm |
| Z向進針系統 | 樣品(pin)趨近方(fang)式，智能自(zi)動(dong)進針，步進馬達加壓電(dian)陶瓷(ci)自(zi)動(dong)探測的智能進針，Z 軸升降行程(cheng) 15mm |
| 手輪搖桿裝置 | 通(tong)過手輪(lun)搖(yao)桿可六(liu)個(ge)自由度任意控制樣(yang)品臺的移(yi)動和樣(yang)品的升(sheng)降，方向(xiang)和速度均可根(gen)據手感來調節 |
| 輔助光學系統 | 原位光學觀測系統，便于原位觀測和選取測試區域；同軸照明光源設 計；10X 光學物鏡和數字放大；光學顯微較小分辨率≤1μm |
| 整機光電結構 | 龍門架式大(da)理石結(jie)(jie)構(gou)，穩定可靠(kao)，避免了懸(xuan)臂(bei)梁結(jie)(jie)構(gou)的彈性振(zhen)動；水平和垂直方向均做了機械平衡(heng)性設計，有(you)效降低(di)剛性結(jie)(jie)構(gou)的固(gu)有(you)頻率 |
| 防震隔音系統 | 日本進口氣浮式減震臺，固有頻率低至 1.5Hz，密閉式隔音箱系統， 使整臺原子力顯微鏡儀器都處在密閉的隔音箱體內部工作，可有效抑 |
| 控制器系統 | 內置 DSP 處理器，嵌(qian)入式 PID 自(zi)整定(ding)智能(neng)調節器，無(wu)需手動(dong)設(she)置，系統(tong)(tong)自(zi)動(dong)整定(ding)優化參(can)數，以 DSP 技術(shu)為基礎(chu)實現完全(quan)數字反饋控制(zhi)系統(tong)(tong) |
| 在線控制軟件 | 具備接觸、輕敲(qiao)、抬高(gao)等(deng)多種掃描模(mo)式，多種掃描控制、多通道信號同時采集和顯示(shi)、具備實時在(zai)線圖(tu)像重構及測量等(deng)功(gong)能 |
| 圖像分析軟件 | 具有數據導出功能(neng)，用戶可取(qu)得原始數據；圖(tu)像同(tong)步功能(neng)，可指定(ding)多達 4 個相關圖(tu)像同(tong)步處理；用戶任意(yi)定(ding)義的 24 位系統調色板；圖(tu)像 |
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