1. 精度保障
針對芯片線路寬度≤5μm的檢測需求，建議選用南京測量顯微鏡，此類設備采用無限遠校正光學系統，配合像差消除算法，讓觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，滿足芯片檢測對微小細節的精度要求。
2. 穩定性設計
建議優先選擇花崗巖材質，由于此材質的高穩定性，使測量可到達亞微米水平，并大大降低誤差。如STM7南京測量顯微鏡，就采用了花崗巖精制而成的載物臺基座，增強了測量的可靠性。該類設備在溫度波動環境下，重復定位精度標準差保持在±0.15μm以內。
3.經濟性優化
電子元器件檢測，別急著上價格高昂的電鏡，測量顯微鏡基于光學原理，可實現三維測量（Z 軸分辨率 0.1μm）。操作界面友好，普通技術人員培訓 2 天即可獨立使用。維護成本低（年維護費約 1-3 萬元），主要耗材為 LED 光源（壽命 > 10,000 小時）。
如果您的產品檢測需要用到光學顯微鏡，可以聯系匯光科技，我們會根據您的檢測需求，提供光學視覺檢測整體解決方案。
