那么,使用紅外顯(xian)微鏡觀察硅芯片都有哪些優勢呢?
無損檢測:
硅芯片(pian)(pian)是一種高精度(du)、高集成度(du)的(de)微(wei)電子器件,常規的(de)檢測方法可能(neng)會對(dui)其造成損壞或影響其性(xing)能(neng)。而紅外顯微(wei)鏡可以(yi)在不破壞芯片(pian)(pian)結構和性(xing)能(neng)的(de)前(qian)提下,對(dui)芯片(pian)(pian)內(nei)部(bu)進行觀察和分析,這對(dui)于(yu)芯片(pian)(pian)的(de)質(zhi)量(liang)控制、失效分析以(yi)及(ji)研發等(deng)環(huan)節(jie)都(dou)具有重要意義。
穿透能力強:
紅外光能(neng)夠穿透(tou)一定厚度的硅(gui)材料,從而(er)可以觀察到芯片(pian)內部的電(dian)路結構(gou)、雜質分布、缺陷等(deng)信息,有助于檢測芯片(pian)中的隱藏缺陷和(he)問題,如短路、開(kai)路、金屬化層缺陷等(deng)。
高分辨率成像:
匯光科技的(de)紅外(wai)顯微鏡(jing)配備了高(gao)(gao)(gao)分(fen)(fen)辨率的(de)成像系統、高(gao)(gao)(gao)靈敏度的(de)探測器以(yi)及高(gao)(gao)(gao)質量(liang)的(de)光學部件,能夠提供(gong)亞微米級甚至(zhi)更高(gao)(gao)(gao)分(fen)(fen)辨率的(de)圖像,從而可(ke)以(yi)清(qing)晰地觀察到芯片內部的(de)微小結構(gou)和細(xi)節特征。
可觀察多層結構:
對(dui)(dui)于多層結(jie)構的硅芯片(pian),紅外顯(xian)微鏡可以通過調整成(cheng)像參數和分析(xi)方法(fa),分別對(dui)(dui)不同層的結(jie)構和信(xin)息(xi)進行(xing)觀察(cha)和分析(xi),有(you)助于了解芯片(pian)的整體(ti)結(jie)構和性能。