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- 蘇州工業園區唯新路83號
MH100-IR近紅(hong)外顯微鏡(jing),采用(yong)4英(ying)寸載物臺,可廣泛應用(yong)于半導體(ti)行業多個領域,匯(hui)光(guang)科技(ji)有現貨(huo)供(gong)應,真誠歡迎有需要的朋友(you)前來(lai)我司試樣選購。
產品詳情
MH100-IR近(jin)紅(hong)外顯微鏡(jing)是(shi)以(yi)紅(hong)外線不可見光(guang)為光(guang)源,能穿透1mm以(yi)內硅材料(liao),配備4寸移動行(xing)程(cheng)載物臺,通過近(jin)紅(hong)外相機把(ba)圖像補足后輸出到電腦(nao)屏幕上(shang),可以(yi)進(jin)行(xing)拍照 、測量(liang)等(deng)。主要用于半導體行(xing)業對于芯片隱裂、倒裝芯片、MEMS器件等(deng)無損檢測。
一、基本配置
1、顯微(wei)鏡機架:含(han)前置底位粗(cu)微(wei)同軸調(diao)焦(jiao)機構
2、照明器:帶視場光闌(lan)和孔(kong)徑光闌(lan)
3、紅外觀察筒:含紅外相機接筒
4、紅外燈(deng)(deng)箱:12V100W鹵素燈(deng)(deng)
5、紅外物鏡
Olympus LMPLN5XIR:5X/0.10 ,W.D. 23;
Olympus LMPLN10XIR:10X/0.30, W.D.23;
Olympus LCPLN20XIR:20X/0.45, W.D.8.3,帶校正(zheng)環(huan);
Olympus LCPLN50XIR:50X/0.65, W.D.4.5,帶校正環。
6、物鏡轉換(huan)器:5孔(kong)手動(可選(xuan)配電動)。
7、近紅外相機:420萬像素,分(fen)辨(bian)率: 2048×2048,含拍照、測量(liang)軟件。
8、紅外(wai)截止片:1100nm
9、載物臺
MH100-IR近(jin)紅外顯微鏡移動行程X*Y:4*4英寸(也可(ke)根(gen)據需求定制)
10、晶圓轉盤:選配
11、電腦:選配
二、IR400近紅外相機
1、大靶(ba)面,高分辨率:420萬像素,1/2英(ying)寸靶(ba)面;
2、真實色彩還原(yuan):所見即所得級(ji)別的(de)色彩還原(yuan),ΔE<3;
3、低(di)(di)噪(zao)聲(sheng),高靈(ling)敏度:低(di)(di)至2e-讀出噪(zao)聲(sheng);
4、深度(du)(du)制冷:二級TEC制冷,可達環境溫度(du)(du)以下10°C;
5、獨立密封艙設計:可防(fang)止相(xiang)機長時間低溫(wen)工作時出現結(jie)露;
6、MH100-IR近紅外顯(xian)微鏡的紅外相機內置(zhi)大(da)容量圖像緩(huan)(huan)存:2Gb圖像緩(huan)(huan)存,確保傳輸穩定性。
三、應用案例圖片
CSP/SIP的非破壞檢查
die chip 失效分(fen)析
Vcsel芯片(pian)隱裂(cracks)
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