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MH100-IR近(jin)紅外顯微鏡，采用(yong)4英寸載(zai)物臺，可(ke)廣(guang)泛應(ying)用(yong)于半導體行(xing)業多個領(ling)域(yu)，匯光科技有現(xian)貨(huo)供應(ying)，真(zhen)誠歡(huan)迎(ying)有需要(yao)的朋(peng)友前來(lai)我(wo)司試(shi)樣選購。
產品詳情
MH100-IR近紅(hong)外(wai)顯微鏡是以紅(hong)外(wai)線(xian)不可見(jian)光為光源，能(neng)穿透1mm以內(nei)硅材料，配備4寸移動行程(cheng)載(zai)物臺，通過近紅(hong)外(wai)相機(ji)把圖像補足后輸出到電腦屏(ping)幕上，可以進行拍照 、測量(liang)等。主要用(yong)于(yu)半導體行業(ye)對于(yu)芯片(pian)隱裂、倒裝芯片(pian)、MEMS器件等無損檢測。
一、基本配置
1、顯(xian)微鏡機(ji)架：含前置底位粗微同軸調焦機(ji)構
2、照明(ming)器：帶視場光闌和孔徑光闌
3、紅外觀察筒(tong)：含紅外相(xiang)機接筒(tong)
4、紅外燈(deng)箱：12V100W鹵素燈(deng)
5、紅外物鏡
Olympus LMPLN5XIR：5X/0.10 ,W.D. 23;
Olympus LMPLN10XIR：10X/0.30, W.D.23;
Olympus LCPLN20XIR：20X/0.45, W.D.8.3,帶校正環；
Olympus LCPLN50XIR：50X/0.65, W.D.4.5,帶校正(zheng)環。
6、物鏡轉換器：5孔手動(dong)（可選(xuan)配電動(dong)）。
7、近紅外相機：420萬像素，分辨率： 2048×2048，含(han)拍照、測量軟件。
8、紅外截止片：1100nm
9、載物臺
MH100-IR近紅外(wai)顯微鏡移(yi)動行(xing)程X*Y：4*4英寸（也可根(gen)據需求定制）
10、晶圓轉(zhuan)盤：選配
11、電腦：選配
二、IR400近紅外相機
1、大靶(ba)面，高分辨率：420萬像素，1/2英(ying)寸靶(ba)面；
2、真實(shi)色彩還原(yuan)：所(suo)見即所(suo)得級別的(de)色彩還原(yuan)，ΔE<3；
3、低(di)噪聲(sheng)，高靈敏度：低(di)至2e-讀出(chu)噪聲(sheng)；
4、深度制冷：二級TEC制冷，可達環境溫度以(yi)下10°C；
5、獨立密封艙設計(ji)：可防(fang)止相機(ji)長時(shi)間(jian)低(di)溫工作時(shi)出現結(jie)露；
6、MH100-IR近紅外顯微鏡的紅外相機內置大容量圖像(xiang)緩存：2Gb圖像(xiang)緩存，確保傳輸(shu)穩定性。
三、應用案例圖片
CSP/SIP的非破壞檢查
die chip 失(shi)效分(fen)析
Vcsel芯(xin)片隱裂（cracks）
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