分類(lei)：半導體膜厚儀 發布時間：2024-09-25 4417次瀏覽
本設備利用(yong)反射(she)干涉的(de)原理進(jin)行無損測(ce)量(liang)(liang)，測(ce)量(liang)(liang)吸收或者透明襯底上薄膜的(de)厚度(du)以及(ji)折射(she)率，同時提(ti)供樣品反射(she)率，測(ce)量(liang)(liang)精度(du)達到(dao)埃級的(de)分辨率，測(ce)量(liang)(liang)迅速(su)，操作簡單，界面友(you)好，測(ce)量(liang)(liang)時間不到(dao) 1 秒。可應用(yong)于光阻(zu)、半(ban)導(dao)體材料、高分子材料等薄膜層的(de)厚度(du)測(ce)量(liang)(liang)，在半(ban)導(dao)體、太陽能、液(ye)晶面板和光學行業以及(ji)科研院所(suo)和高校(xiao)都得(de)到(dao)了廣泛的(de)應用(yong)和極大的(de)好評。
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- 蘇州工業園區唯新路83號
本設(she)備利用反射干涉的(de)(de)原理進(jin)行(xing)無損測(ce)(ce)(ce)量，測(ce)(ce)(ce)量吸(xi)收(shou)或(huo)者(zhe)透明襯底上薄(bo)膜(mo)的(de)(de)厚度以(yi)及折射率，同(tong)時提供樣品反射率，測(ce)(ce)(ce)量精度達到(dao)埃(ai)級的(de)(de)分辨率，測(ce)(ce)(ce)量迅速，操作簡(jian)單，界面(mian)友好，測(ce)(ce)(ce)量時間不到(dao) 1 秒。可應用于(yu)光阻(zu)、半導(dao)體材(cai)料、高分子材(cai)料等薄(bo)膜(mo)層的(de)(de)厚度測(ce)(ce)(ce)量，在半導(dao)體、太陽(yang)能、液晶面(mian)板(ban)和光學行(xing)業以(yi)及科研院所和高校都得到(dao)了廣泛的(de)(de)應用和極大的(de)(de)好評。
產品詳情
反射膜厚儀 HSR-C 技(ji)術參數
1、HSR-C 規格：
1) 基本(ben)功能：獲取薄膜厚度值以及(ji) R、N/K 等光譜
2) 光譜分(fen)析范(fan)圍：380nm-1000nm
3) 測量光斑大小(xiao)：標準(zhun) 1.5mm，較小(xiao) 0.5mm
4) 膜(mo)厚重(zhong)復性測(ce)量精(jing)度：0.02nm（100nm 硅基 SiO2 樣(yang)件，100 次重(zhong)復測(ce)量）
5) 膜厚精度(du)：0.2%或(huo) 2nm 之間較大者
6) 膜厚測量范圍：15nm-70μm
7) 測量 n 和(he) k 值厚(hou)度要(yao)求(qiu)：100nm 以(yi)上
8) 單點(dian)測量時(shi)間：≤ 1s
9) 光源：標(biao)準(zhun)鹵燈光源
10) 分(fen)析(xi)軟件：多達(da)數(shu)百種的(de)光(guang)學(xue)材料(liao)(liao)常數(shu)數(shu)據(ju)庫(ku)，并支持(chi)用戶自定義光(guang)學(xue)材料(liao)(liao)庫(ku)；提供多層各(ge)向同(tong)性(xing)光(guang)學(xue)薄膜建模仿真與分(fen)析(xi)功能
2、樣品臺規格：
1) 基板(ban)尺寸：更大支持樣件尺寸到 150*150mm(可升級定制不同尺寸樣品臺(tai))
3、測控與分析軟件
1) 光譜測量能力：反射(she)率光譜測量
2) 數據分析能(neng)力：膜厚分析能(neng)力，光學(xue)常數（折射率和消光系數）
3) 支持(chi)常用光學(xue)常數模(mo)(mo)型(xing)以及常用振子模(mo)(mo)型(xing)（柯(ke)西模(mo)(mo)型(xing)、洛倫茲模(mo)(mo)型(xing)、高斯(si)模(mo)(mo)型(xing)等）；
4) 支持用戶自定義(yi)，可授(shou)權離線分析軟(ruan)件模擬(ni)實際測量，支持 Windows 10 操作系統
4、設備驗收標準（按參數規格測試(shi)）
1) 光譜分析波段(duan)：380~1000nm
2) 測量光斑大小：標準 1.5mm，較小 0.5mm
3) 膜厚(hou)重(zhong)復性測(ce)量精度：0.02nm（100nm 硅基(ji) SiO2 樣件(jian)，100 次重(zhong)復測(ce)量）
4) 膜厚精度：0.2%或 2nm 之間較大者
5) 膜厚測量范圍：15nm-70μm
5、測控與分析計(ji)算機
1) 操(cao)作系統(tong)：WIN10 64 位
2) CPU 處理器：Intel 酷睿(rui) I5
3) 內存：≥4G
4) 硬盤：≥500G
5) 顯示(shi)器：≥19 寸
6、配件
1) 標準 SiO2/Si 標樣(yang)
2) 標準安裝(zhuang)工(gong)具一套
7、環境要求
1) 承(cheng)載(zai)(zai)臺：尺寸>1.0m（長）×0.7m（寬），承(cheng)載(zai)(zai)能力大于 20Kg
2) 使用溫度范(fan)圍：20 ~ 26 ℃
3) 相對濕(shi)度：35% ~ 60% RH
4) 空氣壓力范圍：750~1014 mbar
5) 潔凈(jing)度： Class 1000
8、能源要求
1) 供電電源電壓(ya)：220V AC
2) 正(zheng)常頻(pin)率范圍：49-51Hz
3) 相電流：有效(xiao)值(zhi)小于 0.5A（220V AC）
4) 功率：小于(yu) 110 W
9、涂裝與表面處理
1) 涂裝顏色：以黑(hei)白灰(hui)色為(wei)主
2) 表面處理：鍍化學鎳、陽極處理、烤漆等
