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- 蘇州工業園區唯新路83號
MX6R列(lie)晶(jing)圓(yuan)半導體顯微鏡各(ge)項操(cao)作根據人機(ji)工程(cheng)學設(she)計(ji)，減輕操(cao)作者(zhe)的(de)使(shi)用(yong)疲勞。其模塊化的(de)部件設(she)計(ji)，可(ke)對系統(tong)功能進行(xing)(xing)自由組合。涵蓋明(ming)場、暗場、斜照(zhao)明(ming)、偏光、DIC微分(fen)干涉等多種(zhong)觀(guan)察(cha)功能，可(ke)根據實際應用(yong)，進行(xing)(xing)功能選擇(ze)。
產品詳情
寬視(shi)場鉸鏈式三目(mu)觀察筒(tong)
正像(xiang)鉸(jiao)鏈三目(mu)觀(guan)察(cha)筒(tong)，所成像(xiang)的(de)方(fang)位與物體實際方(fang)向相(xiang)同，物體移(yi)動的(de)方(fang)向跟像(xiang)面移(yi)動的(de)方(fang)向相(xiang)同，便于觀(guan)察(cha)與操作.
大(da)行程移動平臺設計
采(cai)用6寸(cun)平(ping)(ping)平(ping)(ping)臺設計(ji)，行(xing)程158×158mm，可(ke)(ke)適用于對應尺(chi)寸(cun)的(de)晶圓或(huo)FPD檢測，也可(ke)(ke)用于小尺(chi)寸(cun)樣品的(de)陣列檢測。
高精度物鏡轉換器
轉(zhuan)換器采用精(jing)密軸承設計(ji)，轉(zhuan)動手感輕巧舒適，重復定位精(jing)度高(gao)，物鏡轉(zhuan)換后的(de)同心度也得到較好的(de)控制。
穩重的機架結構設計
工業(ye)檢測級顯(xian)微鏡(jing)鏡(jing)體，低重心、高剛性、高穩(wen)定(ding)性金屬機架，保證(zheng)了系(xi)統的抗震能力與成像(xiang)穩(wen)定(ding)性。
其(qi)前置低手位粗微(wei)調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓(ya)變壓(ya)器(qi)，可適應不(bu)同地區的電網(wang)電壓(ya)。底座內部設計有風循環散熱系統，長時(shi)間使用也(ye)不(bu)會使機架(jia)過熱。
MX6R上海半導體顯微鏡配置參數
型號 | MX6R（反射） | MX6RT（透反射） |
可選(xuan)擇的觀(guan)察方(fang)法 | 明場(chang)(chang)/明暗場(chang)(chang)/偏振光/DIC | |
光學系統(tong) | 無限遠色差校正光學系統(tong) | |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
觀察筒 | 正(zheng)像觀察筒，25°鉸鏈(lian)式三目(mu)，分光比(bi)，雙目(mu)：三目(mu)=100：0或0:100 | |
物鏡 | LMPlan無限遠長工作(zuo)距明(ming)場金相物(wu)鏡5X、10X、20X、50X（選配(pei)：2X、100X） | |
LMPlan-BD無限(xian)遠長工(gong)作距明暗(an)場金相物鏡5X、10X、20X、50X（選配：2X、100X） | ||
轉換器 | 5孔內傾式轉換(huan)器，帶(dai)DIC插槽 | |
載物臺 | 6”三層機械移動(dong)(dong)平臺，行程158x 158mm，右手位X、Y移動(dong)(dong)手輪(lun)，配(pei)離合器手柄，可快速移動(dong)(dong) | |
/ | 透(tou)射行(xing)程：100x100mm | |
玻璃工作平臺 | ||
顯微鏡(jing)鏡(jing)體 | 粗(cu)微調(diao)同(tong)軸、粗(cu)調(diao)行程33mm，微調(diao)精度0.001mm,，帶(dai)粗(cu)調(diao)機構上限位及松緊調(diao)節裝置。內置90-240V寬(kuan)電壓變壓器， | |
單路電源輸出 | 雙路電源輸出 | |
反射照(zhao)明器系統(tong) | 帶(dai)可變視(shi)場(chang)光闌(lan)與孔徑光闌(lan)，均可調中(zhong)心；帶(dai)濾色片插(cha)槽與偏(pian)光裝置(zhi)插(cha)槽；帶(dai)明暗場(chang)切換機構，預(yu)置(zhi)中(zhong)心 | |
采用數字調(diao)光(guang)，具有(you)光(guang)強設定與(yu)復位功能 | 光強連續可調 | |
透射照(zhao)明系統 | / | 單顆大功(gong)率5W LED，白色，光強(qiang)連續可調。N..A.0.5聚光鏡(jing)，帶可變孔徑光闌 |
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