分類(lei)：半導(dao)體檢查(cha)金(jin)相顯微鏡 發布時間(jian)：2020-07-03 21119次瀏(liu)覽(lan)
MX6R列晶圓半導(dao)體顯微鏡各項操作(zuo)根(gen)據(ju)人機工(gong)程學設計(ji)(ji)，減輕操作(zuo)者的(de)使用疲勞。其(qi)模(mo)塊化的(de)部件設計(ji)(ji)，可對系統功(gong)(gong)能進行(xing)自由(you)組合。涵蓋明場(chang)、暗場(chang)、斜照明、偏光(guang)、DIC微分干涉等(deng)多種觀(guan)察功(gong)(gong)能，可根(gen)據(ju)實(shi)際應用，進行(xing)功(gong)(gong)能選擇。
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MX6R列晶(jing)圓半導體(ti)顯微鏡各(ge)項操作根據人機工程學(xue)設計，減輕操作者(zhe)的使用疲勞。其(qi)模塊化的部件設計，可(ke)對系統功能(neng)進(jin)行(xing)自由組合。涵蓋明(ming)場、暗場、斜照(zhao)明(ming)、偏(pian)光、DIC微分(fen)干涉等(deng)多種(zhong)觀察(cha)功能(neng)，可(ke)根據實(shi)際應用，進(jin)行(xing)功能(neng)選擇。
產品詳情
寬視場鉸(jiao)鏈式三目觀察筒
正像(xiang)鉸鏈三(san)目觀察(cha)筒，所成像(xiang)的方(fang)(fang)位與物體實際方(fang)(fang)向相同(tong)，物體移(yi)動的方(fang)(fang)向跟像(xiang)面移(yi)動的方(fang)(fang)向相同(tong)，便于(yu)觀察(cha)與操作.
大(da)行(xing)程移動平臺設計
采(cai)用(yong)6寸平平臺(tai)設計(ji)，行(xing)程(cheng)158×158mm，可適用(yong)于對(dui)應尺寸的(de)晶圓或FPD檢測(ce)，也可用(yong)于小尺寸樣品的(de)陣列檢測(ce)。
高精度物鏡轉換器
轉(zhuan)(zhuan)換器采用精(jing)密軸承設計(ji)，轉(zhuan)(zhuan)動手感輕巧舒適(shi)，重復定位精(jing)度(du)(du)高，物(wu)鏡(jing)轉(zhuan)(zhuan)換后的同心度(du)(du)也得到較好(hao)的控制(zhi)。
穩重的機架結構設計
工業檢(jian)測級顯(xian)微(wei)鏡(jing)鏡(jing)體，低重心、高剛性、高穩(wen)定性金屬機架，保證(zheng)了(le)系(xi)統(tong)的抗震能力與成(cheng)像穩(wen)定性。
其前(qian)置低手位粗微調同軸調焦機構，內(nei)置100-240V寬(kuan)電(dian)(dian)壓(ya)變壓(ya)器(qi)，可適應不(bu)同地區的電(dian)(dian)網電(dian)(dian)壓(ya)。底座內(nei)部設計有(you)風循環散(san)熱(re)系統(tong)，長時間(jian)使用也不(bu)會使機架過熱(re)。
MX6R武漢半導體顯微鏡配置參數
型號 | MX6R（反射） | MX6RT（透反射(she)） |
可選擇的觀察方法 | 明(ming)場(chang)(chang)/明(ming)暗場(chang)(chang)/偏振光/DIC | |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 | |
目鏡 | PL10X/22平(ping)場(chang)高眼點目(mu)鏡(jing) | |
觀察筒 | 正像觀察筒，25°鉸鏈式(shi)三(san)目(mu)，分(fen)光比，雙(shuang)目(mu)：三(san)目(mu)=100：0或0:100 | |
物鏡 | LMPlan無限遠長工作距(ju)明(ming)場(chang)金相物鏡5X、10X、20X、50X（選(xuan)配：2X、100X） | |
LMPlan-BD無限遠長工(gong)作距明暗場(chang)金相物鏡5X、10X、20X、50X（選配：2X、100X） | ||
轉換器 | 5孔內傾式轉換(huan)器，帶DIC插槽 | |
載物臺 | 6”三(san)層(ceng)機械移(yi)動平臺(tai)，行程158x 158mm，右手位(wei)X、Y移(yi)動手輪(lun)，配(pei)離(li)合器手柄，可快速移(yi)動 | |
/ | 透(tou)射行程：100x100mm | |
玻璃工作平臺 | ||
顯(xian)微鏡鏡體 | 粗微調(diao)(diao)同(tong)軸、粗調(diao)(diao)行程(cheng)33mm，微調(diao)(diao)精度0.001mm,，帶粗調(diao)(diao)機構(gou)上限位及松(song)緊調(diao)(diao)節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器， | |
單路電源輸出 | 雙路電源輸出 | |
反射照明器系統 | 帶可變視場光闌(lan)與(yu)孔徑(jing)光闌(lan)，均可調中(zhong)心(xin)；帶濾色片插(cha)(cha)槽與(yu)偏光裝置插(cha)(cha)槽；帶明(ming)暗場切(qie)換機構，預置中(zhong)心(xin) | |
采用數字調光(guang)，具有光(guang)強設定與(yu)復(fu)位功能 | 光強連續可調 | |
透射照(zhao)明(ming)系統 | / | 單(dan)顆大(da)功率5W LED，白色，光強連續可調(diao)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變(bian)孔徑(jing)光闌 |
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