分類：半(ban)導體檢查金相顯(xian)微鏡 發布時(shi)間：2020-07-03 21197次瀏覽(lan)
MX6R列晶(jing)圓半導體顯(xian)微(wei)(wei)鏡各項操作根據人(ren)機工程(cheng)學(xue)設(she)計(ji)，減(jian)輕操作者(zhe)的使(shi)用(yong)疲(pi)勞(lao)。其模塊(kuai)化的部件設(she)計(ji)，可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜(xie)照(zhao)明、偏光、DIC微(wei)(wei)分干(gan)涉等多種觀察功能，可根據實際應用(yong)，進行功能選擇。
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MX6R列(lie)晶圓半導體顯微鏡各項操作根據人機工程學(xue)設計，減輕操作者(zhe)的使(shi)用疲勞。其模塊化的部件設計，可對系統功(gong)能(neng)(neng)進(jin)行(xing)自由組(zu)合(he)。涵蓋明(ming)(ming)場、暗場、斜(xie)照明(ming)(ming)、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功(gong)能(neng)(neng)，可根據實際應用，進(jin)行(xing)功(gong)能(neng)(neng)選擇。
產品詳情
寬視場鉸鏈式(shi)三目觀(guan)察筒
正(zheng)像鉸鏈三目觀察(cha)筒(tong)，所成像的方位與物(wu)體實際方向(xiang)相同，物(wu)體移動的方向(xiang)跟(gen)像面(mian)移動的方向(xiang)相同，便(bian)于觀察(cha)與操(cao)作.
大行(xing)程移(yi)動平臺設(she)計
采用6寸平平臺(tai)設計，行程158×158mm，可(ke)適用于對應(ying)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可(ke)用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉換器
轉(zhuan)換器采用精密軸承(cheng)設計(ji)，轉(zhuan)動手感輕巧(qiao)舒適，重復定位精度高，物鏡轉(zhuan)換后的同心度也(ye)得(de)到較好的控制。
穩重的機架結構設計
工業檢(jian)測級顯微鏡鏡體，低(di)重心、高(gao)剛性、高(gao)穩(wen)定(ding)性金(jin)屬機架，保(bao)證了(le)系統的(de)抗震能(neng)力與成像(xiang)穩(wen)定(ding)性。
其(qi)前(qian)置(zhi)低手位粗微調同(tong)軸(zhou)調焦機構(gou)，內(nei)置(zhi)100-240V寬電(dian)壓(ya)變壓(ya)器，可適應不同(tong)地區的電(dian)網(wang)電(dian)壓(ya)。底座內(nei)部設計(ji)有風循環散熱(re)系統，長時(shi)間使(shi)用也不會使(shi)機架過熱(re)。
MX6R濰坊半導體顯微鏡配置參數
型號 | MX6R（反射） | MX6RT（透(tou)反射(she)） |
可(ke)選(xuan)擇的觀(guan)察方法(fa) | 明(ming)場/明(ming)暗場/偏振光(guang)/DIC | |
光學(xue)系統(tong) | 無限遠色(se)差校正光學(xue)系統 | |
目鏡 | PL10X/22平場(chang)高眼(yan)點目(mu)鏡 | |
觀察筒 | 正像觀察筒，25°鉸(jiao)鏈式三(san)(san)目，分光比，雙目：三(san)(san)目=100：0或0:100 | |
物鏡 | LMPlan無限遠長工作距明場金相物(wu)鏡5X、10X、20X、50X（選配：2X、100X） | |
LMPlan-BD無限遠長工(gong)作距明(ming)暗(an)場(chang)金相(xiang)物鏡5X、10X、20X、50X（選(xuan)配：2X、100X） | ||
轉換器 | 5孔內傾式轉換器，帶DIC插槽 | |
載物臺 | 6”三層(ceng)機械移動平臺，行程158x 158mm，右手(shou)位X、Y移動手(shou)輪，配離合器(qi)手(shou)柄，可快速移動 | |
/ | 透射行程：100x100mm | |
玻璃工作平臺 | ||
顯(xian)微鏡(jing)鏡(jing)體 | 粗微調(diao)(diao)(diao)同軸、粗調(diao)(diao)(diao)行程33mm，微調(diao)(diao)(diao)精度0.001mm,，帶粗調(diao)(diao)(diao)機構上限位及(ji)松緊調(diao)(diao)(diao)節裝(zhuang)置(zhi)。內(nei)置(zhi)90-240V寬電壓(ya)變壓(ya)器， | |
單路電源輸出 | 雙路電源輸出 | |
反射照明器系統 | 帶(dai)可變視場光闌與孔徑光闌，均可調中心；帶(dai)濾色片插槽與偏(pian)光裝置插槽；帶(dai)明(ming)暗場切(qie)換機構，預置中心 | |
采用數字調光，具有光強(qiang)設定與復位功能 | 光強連續可調 | |
透射照(zhao)明系統 | / | 單顆(ke)大功率(lv)5W LED，白色，光(guang)強連續可調。N..A.0.5聚光(guang)鏡，帶可變孔徑光(guang)闌 |
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