分類：晶圓檢查(cha)系統 發布時間(jian)：2020-12-15 18101次瀏覽
12寸(cun)奧林巴斯晶(jing)(jing)圓檢查系統主(zhu)要有(you)二款，型號分(fen)別是(shi)AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧林巴斯晶(jing)(jing)圓檢查系統對應可使用FOUP（裝載(zai)口）和(he)FOSB，常用于(yu)低成本的(de)后期檢查。12寸(cun)奧林巴斯晶(jing)(jing)圓檢查系統安全(quan)(quan)且符合(he)人體工程學的(de)設(she)計，確保了操作人員在搬(ban)送晶(jing)(jing)圓時（包括薄(bo)晶(jing)(jing)圓和(he)變形(xing)晶(jing)(jing)圓）的(de)效(xiao)率(lv)和(he)安全(quan)(quan)。
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12寸(cun)奧林(lin)巴(ba)(ba)斯(si)(si)晶(jing)(jing)圓(yuan)檢查(cha)系(xi)統主要有二(er)款，型(xing)號分別是AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧林(lin)巴(ba)(ba)斯(si)(si)晶(jing)(jing)圓(yuan)檢查(cha)系(xi)統對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，常用于低成本的(de)(de)后期檢查(cha)。12寸(cun)奧林(lin)巴(ba)(ba)斯(si)(si)晶(jing)(jing)圓(yuan)檢查(cha)系(xi)統安全且符合人體工程學的(de)(de)設計(ji)，確保了操作人員在搬送晶(jing)(jing)圓(yuan)時（包括薄晶(jing)(jing)圓(yuan)和變(bian)形晶(jing)(jing)圓(yuan)）的(de)(de)效(xiao)率和安全。
產品詳情
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統主要特性：
●堅固(gu)、可(ke)靠(kao)和安全傳送(song)
12寸奧林巴斯晶(jing)圓檢(jian)查系統延續(xu)了上一(yi)代(dai)機型(xing)的堅固性(xing)、可靠性(xing)和(he)安全(quan)性(xing)，能夠安全(quan)可靠的傳送(song)300 mm晶(jing)圓，且(qie)薄片，Warped晶(jing)圓也能安全(quan)搬(ban)送(song)。
●人機工(gong)程(cheng)學設計，操(cao)作方便
12寸(cun)奧(ao)林巴斯晶圓檢查系統可以自(zi)由(you)設置的(de)檢查模式，在設計上考慮了(le)后道工(gong)程中的(de)操作(zuo)性，尤為(wei)重(zhong)視設備的(de)操作(zuo)簡便(bian)性。分(fen)別(bie)對應(ying)FOUP(Load Port）和FOSB的(de)兩種機型。
12寸(cun)奧林巴斯晶(jing)圓檢查(cha)系統(tong)宏觀(guan)觀(guan)察位置的(de)更(geng)優化和操(cao)作單元(yuan)的(de)集(ji)中(zhong)排列，提(ti)高了(le)設備的(de)操(cao)作性。
自動300 mm晶圓檢查系統 AL120-12 技術規格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選(xuan)：200 mm | |
卡盒數 | 單盒（裝載(zai)、卸載(zai)兼(jian)用） | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面宏(hong)、內(nei)面宏(hong)、顯(xian)微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導(dao)體檢查顯微鏡(jing)MX61L | |
應用環境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真(zhen)空-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動吸附載物臺，有(you)XY粗調(diao)／微調(diao)和360度旋轉機構 | |
重(zhong)量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
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