分類(lei)：晶圓檢查系統 發布時(shi)間：2020-12-15 18083次瀏(liu)覽
12寸(cun)奧(ao)林(lin)巴斯晶(jing)圓(yuan)檢查系統主(zhu)要有二款，型號分別是AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧(ao)林(lin)巴斯晶(jing)圓(yuan)檢查系統對應可使用(yong)FOUP（裝(zhuang)載口）和(he)FOSB，常用(yong)于低成本的(de)(de)后(hou)期檢查。12寸(cun)奧(ao)林(lin)巴斯晶(jing)圓(yuan)檢查系統安全(quan)且(qie)符合人體工程學的(de)(de)設計，確保了操作人員在搬送(song)晶(jing)圓(yuan)時（包括(kuo)薄晶(jing)圓(yuan)和(he)變形晶(jing)圓(yuan)）的(de)(de)效率(lv)和(he)安全(quan)。
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12寸奧林巴(ba)斯(si)晶圓檢查(cha)系統(tong)主要有二(er)款(kuan)，型號分別是AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧林巴(ba)斯(si)晶圓檢查(cha)系統(tong)對(dui)應可(ke)使用FOUP（裝(zhuang)載口）和FOSB，常用于低(di)成(cheng)本的(de)后(hou)期檢查(cha)。12寸奧林巴(ba)斯(si)晶圓檢查(cha)系統(tong)安(an)全(quan)且(qie)符合人體工程學的(de)設計，確保了操作人員在(zai)搬送(song)晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的(de)效率和安(an)全(quan)。
產品詳情
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統主要特性：
●堅固(gu)、可靠和安全傳送
12寸(cun)奧林巴(ba)斯晶圓檢查系統延續(xu)了上一代機(ji)型(xing)的(de)堅固性(xing)、可靠(kao)性(xing)和(he)安全性(xing)，能夠安全可靠(kao)的(de)傳送300 mm晶圓，且(qie)薄片，Warped晶圓也(ye)能安全搬送。
●人機工程學設計，操作方便
12寸(cun)奧林巴(ba)斯晶(jing)圓檢(jian)查(cha)系統可(ke)以自由設置的(de)檢(jian)查(cha)模式，在設計上考(kao)慮了后(hou)道工程中的(de)操作性(xing)，尤(you)為(wei)重(zhong)視(shi)設備的(de)操作簡便性(xing)。分別對應FOUP(Load Port）和FOSB的(de)兩種(zhong)機型(xing)。
12寸奧(ao)林巴斯晶圓檢查(cha)系(xi)統宏(hong)觀觀察位置的更(geng)優化和操作(zuo)(zuo)單元的集中排列(lie)，提高(gao)了設(she)備的操作(zuo)(zuo)性。
自動300 mm晶圓檢查系統 AL120-12 技術規格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可(ke)選：200 mm | |
卡盒數 | 單盒（裝載(zai)(zai)、卸載(zai)(zai)兼用） | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面(mian)宏、內面(mian)宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導體檢查顯(xian)微鏡MX61L | |
應用環境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動吸附載物臺，有XY粗調／微調和360度(du)旋(xuan)轉機構 | |
重(zhong)量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
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