分類：晶圓(yuan)檢查系統 發布時間：2020-12-15 18089次瀏(liu)覽(lan)
12寸奧林巴斯晶(jing)圓檢查系統主要有(you)二款，型號分別是AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧林巴斯晶(jing)圓檢查系統對應可使用FOUP（裝載口）和(he)(he)FOSB，常用于(yu)低成本的后(hou)期檢查。12寸奧林巴斯晶(jing)圓檢查系統安全且符合人體工程學的設計，確保了(le)操作人員在(zai)搬送晶(jing)圓時（包括薄晶(jing)圓和(he)(he)變形晶(jing)圓）的效率和(he)(he)安全。
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12寸奧(ao)林(lin)巴斯晶(jing)(jing)圓(yuan)檢(jian)(jian)(jian)查(cha)系(xi)統主要有(you)二(er)款，型號分(fen)別是AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧(ao)林(lin)巴斯晶(jing)(jing)圓(yuan)檢(jian)(jian)(jian)查(cha)系(xi)統對應可使用FOUP（裝載口）和(he)FOSB，常用于(yu)低(di)成本的(de)后期檢(jian)(jian)(jian)查(cha)。12寸奧(ao)林(lin)巴斯晶(jing)(jing)圓(yuan)檢(jian)(jian)(jian)查(cha)系(xi)統安全且符(fu)合人體工程學的(de)設計，確保了操(cao)作人員在搬送晶(jing)(jing)圓(yuan)時（包括薄晶(jing)(jing)圓(yuan)和(he)變形晶(jing)(jing)圓(yuan)）的(de)效率和(he)安全。
產品詳情
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統主要特性：
●堅固、可靠和安全傳送
12寸奧林(lin)巴斯晶圓檢查系統延續了上(shang)一代機型的堅固性、可靠(kao)性和(he)安全性，能夠(gou)安全可靠(kao)的傳(chuan)送300 mm晶圓，且薄片，Warped晶圓也能安全搬(ban)送。
●人機工程學設計，操作方便
12寸奧林(lin)巴(ba)斯晶圓檢查系統可以(yi)自由設置的(de)(de)檢查模式(shi)，在(zai)設計上考慮了后道工程中(zhong)的(de)(de)操作性(xing)，尤為重(zhong)視(shi)設備(bei)的(de)(de)操作簡便(bian)性(xing)。分(fen)別(bie)對應(ying)FOUP(Load Port）和(he)FOSB的(de)(de)兩種機型。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tong)宏觀(guan)觀(guan)察位置(zhi)的(de)更優化和操作(zuo)單元的(de)集中排(pai)列，提高了設備(bei)的(de)操作(zuo)性。
自動300 mm晶圓檢查系統 AL120-12 技術規格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選(xuan)：200 mm | |
卡盒數 | 單盒（裝載、卸載兼用） | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面(mian)宏(hong)、內面(mian)宏(hong)、顯微(wei)鏡檢查(cha) | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導體檢查顯(xian)微鏡MX61L | |
應用環境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空(kong)-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動吸附載物臺，有XY粗(cu)調(diao)／微調(diao)和360度(du)旋轉機構 | |
重量(liang)（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
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