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8寸奧林巴斯晶圓檢查系統特點

●適應范圍廣(guang)、搭配靈活，8寸(cun)奧(ao)林巴斯(si)晶圓(yuan)檢查系統(tong)具有高(gao)度(du)實(shi)用性(xing)和高(gao)度(du)可靠性(xing)。

●8寸奧林巴斯晶圓(yuan)檢查系統傳(chuan)輸各(ge)種尺寸的硅片

基(ji)于硅(gui)片的(de)尺(chi)(chi)寸，AL120系列晶圓檢(jian)查系統有3種(zhong)基(ji)本機型，單200mm（AL120-L8）、150mm和(he)200mm兼容(rong)（AL120-L86）、單150mm或以下尺(chi)(chi)寸（AL120-L6）。每一(yi)款都是為了傳輸硅(gui)片已經進行顯微鏡檢(jian)查而設(she)計。正(zheng)面宏(hong)觀和(he)背面宏(hong)觀檢(jian)查均可適用與各種(zhong)尺(chi)(chi)寸的(de)硅(gui)片。

●8寸奧林巴斯晶圓檢查(cha)系統(tong)可以傳(chuan)輸超薄(bo)(bo)的硅片，即薄(bo)(bo)至90um

為了應對更具有挑(tiao)戰性的(de)超薄硅片(pian)，奧林(lin)巴(ba)斯晶圓檢(jian)查系統特殊(shu)設計了傳(chuan)輸手臂，可以(yi)應對25片(pian)裝的(de)200mm的(de)片(pian)盒以(yi)及薄至90um的(de)硅片(pian)，并(bing)完(wan)成安全傳(chuan)輸和顯(xian)微鏡檢(jian)查。可通(tong)過面板預設多達10種不同厚度的(de)硅片(pian)信息。

●精(jing)密的(de)能力，增強宏觀檢查(cha)的(de)功能

新款(kuan)的(de)具(ju)備宏(hong)(hong)觀檢(jian)(jian)查功能(neng)的(de)機臺（LMB型(xing)）具(ju)有360度自動旋(xuan)轉而完成硅(gui)片(pian)的(de)每(mei)面宏(hong)(hong)觀檢(jian)(jian)查。這(zhe)一設計可以方便的(de)發現硅(gui)片(pian)正反(fan)面上(shang)的(de)缺(que)陷和顆(ke)粒。另外，可以通過使用搖桿將硅(gui)片(pian)傾斜30度進行宏(hong)(hong)觀檢(jian)(jian)查。

●LCD顯(xian)示(shi)屏(ping)提供精(jing)度(du)和操作方便(bian)性

LCD顯(xian)示(shi)屏(ping)提供給操作者(zhe)(zhe)更直觀的(de)視覺(jue)感(gan)受(shou)，使得奧林巴斯晶圓檢(jian)查(cha)系統檢(jian)查(cha)項(xiang)目和(he)次序一清二(er)楚，以及安裝調試(shi)所需要(yao)設置(zhi)的(de)參數也(ye)一目了然(ran)。檢(jian)查(cha)結果、包括操作者(zhe)(zhe)輸入的(de)宏觀和(he)微觀的(de)缺(que)陷記號一并可以顯(xian)示(shi)在LCD顯(xian)示(shi)屏(ping)上，方便操作者(zhe)(zhe)的(de)回顧。

●精密的可靠性

對于硅(gui)片(pian)的(de)(de)安全性，AL120系列(lie)晶圓檢查系統采用新的(de)(de)兩種硅(gui)片(pian)檢測方式：硅(gui)片(pian)的(de)(de)厚(hou)度以及在片(pian)盒中的(de)(de)位(wei)置。傳輸前(qian)先(xian)掃描硅(gui)片(pian)在片(pian)盒中的(de)(de)位(wei)置。選購的(de)(de)載物(wu)臺自(zi)動鎖死功(gong)能提高了硅(gui)片(pian)傳輸到(dao)真空載物(wu)臺的(de)(de)安全性。

●強大和可靠的顯微鏡(jing)

奧林巴斯(si)半(ban)導體檢(jian)查顯(xian)微鏡(jing)MX61通過不同的(de)觀察方式(shi)：明場、暗場、微分干(gan)涉(she)、紅(hong)外(wai)和深紫外(wai)，都(dou)可以(yi)呈現出高清晰度(du)和高解析的(de)圖像。配備(bei)電動(dong)(dong)物(wu)鏡(jing)轉(zhuan)盤，與顯(xian)微鏡(jing)主(zhu)機的(de)孔徑光瀾(lan)具有聯(lian)動(dong)(dong)功能，每一次(ci)物(wu)鏡(jing)的(de)切換，孔徑光瀾(lan)也會自(zi)動(dong)(dong)變換。

●符(fu)合SEMI S2/S8 和RoHS標準

AL120系(xi)列晶(jing)圓(yuan)檢查系(xi)統設計不單只重視傳輸中的(de)(de)硅片的(de)(de)安全，也保證操作者的(de)(de)安全，完全符合SEMI的(de)(de)S2和S8標準，同時也滿足(zu)了Rohs標準。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統技術規格