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8寸奧林巴斯晶圓檢查系統特點

●適(shi)應范圍(wei)廣、搭配靈(ling)活，8寸奧林巴斯晶圓檢查(cha)系統具有高度實(shi)用性(xing)和(he)高度可靠性(xing)。

●8寸(cun)奧林(lin)巴斯晶圓檢查系(xi)統傳輸各(ge)種尺寸(cun)的硅片(pian)

基于硅片的(de)尺(chi)(chi)寸，AL120系(xi)列晶圓檢查系(xi)統有3種基本機型，單(dan)(dan)200mm（AL120-L8）、150mm和(he)200mm兼容（AL120-L86）、單(dan)(dan)150mm或以下尺(chi)(chi)寸（AL120-L6）。每(mei)一款都(dou)是(shi)為了傳輸硅片已經進行顯微鏡檢查而設計。正(zheng)面宏(hong)觀(guan)和(he)背面宏(hong)觀(guan)檢查均可適用與各種尺(chi)(chi)寸的(de)硅片。

●8寸奧林巴(ba)斯晶圓檢(jian)查系統可(ke)以(yi)傳輸超薄的硅片，即薄至90um

為(wei)了(le)應對更具有挑(tiao)戰性(xing)的(de)超薄硅(gui)片(pian)，奧(ao)林巴斯晶圓檢查系統(tong)特殊設(she)計了(le)傳(chuan)輸(shu)手臂，可以應對25片(pian)裝的(de)200mm的(de)片(pian)盒以及(ji)薄至90um的(de)硅(gui)片(pian)，并(bing)完成安全傳(chuan)輸(shu)和(he)顯微鏡檢查。可通過面板預設(she)多達(da)10種(zhong)不同厚度的(de)硅(gui)片(pian)信息。

●精密的能力，增(zeng)強宏觀檢查的功能

新(xin)款的(de)(de)具備(bei)宏(hong)(hong)觀檢(jian)(jian)(jian)查(cha)功能的(de)(de)機臺（LMB型）具有(you)360度(du)自動(dong)旋轉而完成硅片的(de)(de)每面(mian)宏(hong)(hong)觀檢(jian)(jian)(jian)查(cha)。這(zhe)一設計可以(yi)方便(bian)的(de)(de)發現硅片正反面(mian)上的(de)(de)缺陷和(he)顆(ke)粒(li)。另外，可以(yi)通過使用搖桿將(jiang)硅片傾斜30度(du)進行(xing)宏(hong)(hong)觀檢(jian)(jian)(jian)查(cha)。

●LCD顯示(shi)屏提(ti)供精度(du)和操作方便(bian)性

LCD顯(xian)示屏提供給操(cao)作(zuo)者(zhe)更直觀的(de)視覺感受，使得奧林(lin)巴斯晶圓檢查(cha)(cha)(cha)系統檢查(cha)(cha)(cha)項目(mu)和次序一清二楚，以及安裝調試(shi)所(suo)需要設置的(de)參(can)數也一目(mu)了然。檢查(cha)(cha)(cha)結果、包(bao)括操(cao)作(zuo)者(zhe)輸入的(de)宏觀和微觀的(de)缺陷(xian)記號一并可以顯(xian)示在LCD顯(xian)示屏上(shang)，方(fang)便操(cao)作(zuo)者(zhe)的(de)回顧。

●精密的可靠性

對于硅片的(de)(de)(de)(de)安全性(xing)(xing)，AL120系(xi)(xi)列晶圓檢查系(xi)(xi)統采用(yong)新的(de)(de)(de)(de)兩種硅片檢測(ce)方式：硅片的(de)(de)(de)(de)厚度以及在(zai)片盒中的(de)(de)(de)(de)位置。傳輸(shu)前(qian)先掃描硅片在(zai)片盒中的(de)(de)(de)(de)位置。選(xuan)購的(de)(de)(de)(de)載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸(shu)到真空(kong)載物臺的(de)(de)(de)(de)安全性(xing)(xing)。

●強大和可靠的(de)顯微鏡

奧(ao)林巴(ba)斯半導(dao)體(ti)檢(jian)查顯微(wei)(wei)鏡(jing)(jing)MX61通過不同的觀察方(fang)式：明場、暗(an)場、微(wei)(wei)分干涉、紅外和(he)深紫外，都(dou)可(ke)以呈現(xian)出高(gao)清晰(xi)度和(he)高(gao)解析的圖像。配(pei)備電(dian)動物鏡(jing)(jing)轉盤(pan)，與(yu)顯微(wei)(wei)鏡(jing)(jing)主機的孔(kong)(kong)徑光瀾具有聯(lian)動功能，每一次物鏡(jing)(jing)的切換，孔(kong)(kong)徑光瀾也會自動變換。

●符合SEMI S2/S8 和RoHS標準

AL120系列晶(jing)圓(yuan)檢(jian)查系統設(she)計不單只重視傳輸(shu)中(zhong)的硅片的安(an)(an)全，也保證操作者的安(an)(an)全，完全符合(he)SEMI的S2和S8標(biao)準，同(tong)時也滿足了(le)Rohs標(biao)準。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統技術規格