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8寸奧林巴斯晶圓檢查系統特點

●適應范圍廣、搭配靈活(huo)，8寸奧林巴(ba)斯晶(jing)圓檢查系統具有高度(du)實用性和高度(du)可靠性。

●8寸奧林巴斯晶(jing)圓檢(jian)查(cha)系統傳輸各(ge)種尺(chi)寸的硅片

基于硅片的尺寸(cun)，AL120系(xi)列晶(jing)圓(yuan)檢查(cha)系(xi)統有(you)3種基本機(ji)型，單(dan)200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼(jian)容（AL120-L86）、單(dan)150mm或(huo)以下(xia)尺寸(cun)（AL120-L6）。每一(yi)款都是為了傳輸硅片已經進行顯微(wei)鏡(jing)檢查(cha)而設計。正面宏(hong)觀(guan)和背(bei)面宏(hong)觀(guan)檢查(cha)均(jun)可適用與各種尺寸(cun)的硅片。

●8寸奧林(lin)巴斯(si)晶圓檢查系(xi)統可以傳(chuan)輸超薄的硅片(pian)，即薄至90um

為了應(ying)對(dui)更具(ju)有挑(tiao)戰性的超薄(bo)硅(gui)片(pian)，奧林巴斯晶圓檢查(cha)(cha)系統特殊設計了傳輸手(shou)臂，可(ke)以應(ying)對(dui)25片(pian)裝的200mm的片(pian)盒以及(ji)薄(bo)至90um的硅(gui)片(pian)，并完(wan)成安全傳輸和顯微鏡檢查(cha)(cha)。可(ke)通過面板預設多達10種不同厚度的硅(gui)片(pian)信息。

●精密的能力，增強宏觀檢查(cha)的功能

新款的(de)(de)具備(bei)宏觀(guan)檢(jian)查功能的(de)(de)機臺（LMB型(xing)）具有(you)360度自動旋轉而完成硅(gui)片的(de)(de)每面宏觀(guan)檢(jian)查。這(zhe)一設計(ji)可以方便的(de)(de)發現硅(gui)片正反(fan)面上(shang)的(de)(de)缺陷(xian)和顆粒。另(ling)外，可以通過使(shi)用搖(yao)桿將硅(gui)片傾斜(xie)30度進(jin)行宏觀(guan)檢(jian)查。

●LCD顯(xian)示屏提(ti)供精度和操作方(fang)便性

LCD顯示屏提供給操作(zuo)者(zhe)更直觀(guan)的視(shi)覺感受，使得(de)奧林(lin)巴斯晶圓檢(jian)查系統檢(jian)查項目和次序一(yi)清二楚，以及安裝調試所需要設(she)置的參數也一(yi)目了然。檢(jian)查結果(guo)、包括操作(zuo)者(zhe)輸(shu)入的宏觀(guan)和微(wei)觀(guan)的缺(que)陷記(ji)號(hao)一(yi)并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作(zuo)者(zhe)的回顧(gu)。

●精密的可靠性

對于硅片(pian)的(de)(de)安(an)全性，AL120系(xi)列(lie)晶圓檢查系(xi)統采用新(xin)的(de)(de)兩種硅片(pian)檢測方式：硅片(pian)的(de)(de)厚度(du)以(yi)及在(zai)片(pian)盒中的(de)(de)位置(zhi)(zhi)。傳輸(shu)(shu)前先(xian)掃描硅片(pian)在(zai)片(pian)盒中的(de)(de)位置(zhi)(zhi)。選購的(de)(de)載物臺自動鎖死功能提高了硅片(pian)傳輸(shu)(shu)到真空載物臺的(de)(de)安(an)全性。

●強(qiang)大(da)和(he)可靠的顯微鏡

奧林巴斯半導體檢查顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)MX61通過(guo)不同的(de)觀察方式：明(ming)場、暗場、微(wei)分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現出(chu)高清晰度和高解析的(de)圖像。配備電動物(wu)(wu)鏡(jing)轉盤(pan)，與顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)主機的(de)孔徑光(guang)瀾(lan)具有聯(lian)動功(gong)能，每(mei)一次物(wu)(wu)鏡(jing)的(de)切換，孔徑光(guang)瀾(lan)也(ye)會自動變(bian)換。

●符合SEMI S2/S8 和RoHS標(biao)準

AL120系(xi)列晶圓檢查系(xi)統設計不(bu)單(dan)只(zhi)重視(shi)傳輸(shu)中的(de)硅片的(de)安全(quan)，也(ye)保(bao)證操作(zuo)者的(de)安全(quan)，完全(quan)符(fu)合SEMI的(de)S2和S8標準，同時也(ye)滿足(zu)了Rohs標準。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統技術規格