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- 蘇州工業園區唯新路83號
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，也可以安全有效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
產品詳情
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統特點
●適應范圍廣、搭配靈活，8寸奧林巴斯晶圓檢查系統具有高度實用性和高度可靠性。
●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統傳輸各種尺寸的硅片
基于硅片的尺寸，AL120系列晶圓檢查系統有3種基本機型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經進行顯微鏡檢查而設計。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。
●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統可以傳輸超薄的硅片，即薄至90um
為了應對更具有挑戰性的超薄硅片，奧林巴斯晶圓檢查系統特殊設計了傳輸手臂，可以應對25片裝的200mm的片盒以及薄至90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查。可通過面板預設多達10種不同厚度的硅片信息。
●精密的能力，增強宏觀檢查的功能
新款的具備宏觀檢查功能的機臺（LMB型）具有360度自動旋轉而完成硅片的每面宏觀檢查。這一設計可以方便的發現硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進行宏觀檢查。
●LCD顯示屏提供精度和操作方便性
LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受，使得奧林巴斯晶圓檢查系統檢查項目和次序一清二楚，以及安裝調試所需要設置的參數也一目了然。檢查結果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧。
●精密的可靠性
對于硅片的安全性，AL120系列晶圓檢查系統采用新的兩種硅片檢測方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸到真空載物臺的安全性。
●強大和可靠的顯微鏡
奧林巴斯半導體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場、暗場、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現出高清晰度和高解析的圖像。配備電動物鏡轉盤，與顯微鏡主機的孔徑光瀾具有聯動功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會自動變換。
●符合SEMI S2/S8 和RoHS標準
AL120系列晶圓檢查系統設計不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，完全符合SEMI的S2和S8標準，同時也滿足了Rohs標準。
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統技術規格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm | |
卡盒數 | 單盒（裝載、卸載兼用） | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面宏、內面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導體檢查顯微鏡MX61L | |
應用環境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動吸附載物臺，有XY粗調／微調和360度旋轉機構 | |
重量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
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