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- 蘇州工業園區唯新路83號
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統可(ke)對應200mm以下(xia)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)尺寸(cun)的硅、化合(he)物晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)，也可(ke)以安(an)全(quan)有效搬送(song)薄(bo)片晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)，非常適(shi)合(he)于前道(dao)到后道(dao)工(gong)程的晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)檢查。
產品詳情
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統特點
●適應范圍廣、搭配靈活，8寸奧(ao)林(lin)巴斯晶圓(yuan)檢查系統具有高度(du)實用性和高度(du)可靠性。
●8寸(cun)奧(ao)林巴斯(si)晶圓檢查系(xi)統傳(chuan)輸各種尺寸(cun)的硅片
基于硅(gui)片的尺寸，AL120系(xi)列晶圓檢(jian)查(cha)系(xi)統有3種基本機型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼(jian)容(rong)（AL120-L86）、單150mm或以下(xia)尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了(le)傳輸硅(gui)片已經(jing)進(jin)行顯(xian)微鏡檢(jian)查(cha)而設計。正面宏(hong)觀和背面宏(hong)觀檢(jian)查(cha)均可(ke)適(shi)用與各(ge)種尺寸的硅(gui)片。
●8寸奧林巴(ba)斯(si)晶圓檢(jian)查系統(tong)可以傳輸(shu)超薄的(de)硅片，即薄至(zhi)90um
為了應(ying)對(dui)更具有挑(tiao)戰性的(de)(de)超(chao)薄(bo)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)，奧林巴斯晶圓檢(jian)查(cha)系統特殊設計(ji)了傳輸手(shou)臂(bei)，可以(yi)應(ying)對(dui)25片(pian)(pian)裝的(de)(de)200mm的(de)(de)片(pian)(pian)盒以(yi)及薄(bo)至90um的(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)，并完(wan)成(cheng)安全傳輸和顯微鏡檢(jian)查(cha)。可通過面板預設多達10種不同厚度的(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)信息。
●精密的(de)能(neng)力，增強宏觀檢查的(de)功(gong)能(neng)
新款(kuan)的(de)具(ju)備(bei)宏(hong)觀(guan)檢查功能的(de)機(ji)臺(tai)（LMB型）具(ju)有(you)360度自動旋轉而完成硅片(pian)的(de)每面宏(hong)觀(guan)檢查。這(zhe)一設(she)計可(ke)以方便的(de)發現(xian)硅片(pian)正反面上的(de)缺陷和顆粒(li)。另外，可(ke)以通過使用搖桿將(jiang)硅片(pian)傾(qing)斜30度進(jin)行宏(hong)觀(guan)檢查。
●LCD顯示屏提(ti)供精度和操作方便性
LCD顯示屏(ping)提供給操(cao)作(zuo)者(zhe)更直(zhi)觀(guan)的(de)視覺感受(shou)，使(shi)得(de)奧林巴(ba)斯晶(jing)圓檢(jian)(jian)查系(xi)統檢(jian)(jian)查項目和次序(xu)一(yi)清二楚，以及安裝(zhuang)調試所需要設(she)置的(de)參(can)數(shu)也一(yi)目了然。檢(jian)(jian)查結果、包括操(cao)作(zuo)者(zhe)輸入(ru)的(de)宏觀(guan)和微觀(guan)的(de)缺陷記號一(yi)并可以顯示在(zai)LCD顯示屏(ping)上，方便操(cao)作(zuo)者(zhe)的(de)回顧。
●精密的可靠性
對(dui)于硅(gui)片(pian)的(de)安全(quan)性(xing)，AL120系列晶圓(yuan)檢(jian)查系統采用新(xin)的(de)兩種硅(gui)片(pian)檢(jian)測方(fang)式：硅(gui)片(pian)的(de)厚度以及在片(pian)盒中的(de)位置。傳輸(shu)前(qian)先掃描(miao)硅(gui)片(pian)在片(pian)盒中的(de)位置。選購的(de)載物臺自動鎖(suo)死功(gong)能(neng)提高了硅(gui)片(pian)傳輸(shu)到(dao)真(zhen)空載物臺的(de)安全(quan)性(xing)。
●強大和(he)可靠的顯微鏡(jing)
奧林巴斯半導(dao)體檢(jian)查顯微鏡(jing)MX61通過不(bu)同的觀(guan)察方式：明(ming)場、暗(an)場、微分干(gan)涉、紅(hong)外和深(shen)紫外，都(dou)可以呈現出高(gao)清晰度和高(gao)解析的圖像。配備電動(dong)物鏡(jing)轉盤，與顯微鏡(jing)主機的孔徑(jing)光瀾具有聯(lian)動(dong)功能，每(mei)一次物鏡(jing)的切換，孔徑(jing)光瀾也會自動(dong)變換。
●符合(he)SEMI S2/S8 和RoHS標準
AL120系(xi)列晶(jing)圓檢查系(xi)統設(she)計不(bu)單只(zhi)重視傳輸中(zhong)的硅片的安全，也(ye)保證操作者的安全，完全符(fu)合SEMI的S2和S8標(biao)準，同時也(ye)滿足了Rohs標(biao)準。
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統技術規格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm | |
卡盒數 | 單盒（裝載(zai)、卸載(zai)兼用） | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表(biao)面宏、內面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導體檢查顯微鏡MX61L | |
應用環境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真(zhen)空(kong)-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動(dong)吸附(fu)載物臺，有(you)XY粗調(diao)／微調(diao)和360度旋轉(zhuan)機(ji)構 | |
重量（不包括(kuo)顯微鏡(jing)） | 約360 kg | 約270 kg |
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