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AWL系列晶圓檢查系統兼具(ju)穩定(ding)性和(he)安全(quan)性，能(neng)夠安全(quan)可靠的傳(chuan)送晶(jing)圓(yuan)，適(shi)合在(zai)前(qian)道(dao)到(dao)后道(dao)工程(cheng)的晶(jing)圓(yuan)檢(jian)查。
產品詳情
目前(qian)，AWL系列晶圓搬運機(ji)(ji)擁有AWL046、AWL068，AWL812三(san)種機(ji)(ji)型，分別(bie)可適用于(yu) 4/6 英寸(cun)，6/8 英寸(cun)，8/12英寸(cun)的晶圓檢測，其適應范圍廣(guang)，且搭(da)配(pei)靈活 ，可自由設置的檢查模式，充分符合人(ren)機(ji)(ji)工程學設計，操作(zuo)舒適、簡便(bian)。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL系列(lie)晶圓(yuan)檢查(cha)系統具有宏(hong)觀(guan)檢查(cha)手臂，可(ke)以實現晶面宏(hong)觀(guan)檢查(cha)、晶背宏(hong)觀(guan)檢查(cha)1的360°旋轉，更為(wei)容(rong)易發(fa)現傷痕和(he)微塵。通過操作桿可(ke)隨意(yi)將晶圓(yuan)傾(qing)斜觀(guan)察(cha)。晶面傾(qing)斜角(jiao)度(du)≤70°，晶背1傾(qing)斜角(jiao)度(du)≤90°，晶背2傾(qing)斜角(jiao)度(du)≤160°，利(li)用旋轉功能、傾(qing)斜 角(jiao)度(du)，完全可(ke)以目視檢查(cha)整個晶圓(yuan)正反面及邊緣。
●人機工程學設計
晶圓檢查(cha)系統的LCD顯示(shi)屏(ping)，可(ke)為操(cao)作者(zhe)提供更直觀的視覺(jue)體驗(yan)，可(ke)清晰的顯示(shi)當(dang)前檢查(cha)項目(mu)及(ji)次(ci)序，調(diao)試(shi)參數(shu)一目(mu)了然(ran)。
晶圓檢查系統的手動快速釋放真空(kong)載(zai)物臺可提高(gao)操作者的舒適度(du)和工作效率。
晶圓缺(que)陷檢(jian)查應用(yong)案(an)例(li)
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸(cun)（SEMI 規格(ge)） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開(kai)放(fang)式片(pian)盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全檢 / 奇數(shu)檢 / 偶數(shu)檢 / 手動選擇 | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式(shi)定位平邊 /V 型槽(cao)，支持 0°、90°、180°、270°朝向設(she)置(zhi) | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP鄭州金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
更多(duo)詳情，歡迎大家來電咨詢匯光(guang)科(ke)技。
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