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- 蘇州工業園區唯新路83號
AWL系列晶圓檢查系統兼具穩定性和安全(quan)(quan)性，能夠安全(quan)(quan)可(ke)靠的(de)傳送晶(jing)圓，適合(he)在前道(dao)到后道(dao)工程(cheng)的(de)晶(jing)圓檢查(cha)。
產品詳情
目前(qian)，AWL系列晶圓搬運機(ji)擁(yong)有(you)AWL046、AWL068，AWL812三種機(ji)型，分別可適用于 4/6 英(ying)寸，6/8 英(ying)寸，8/12英(ying)寸的晶圓檢測，其(qi)適應范圍廣，且搭配靈活 ，可自(zi)由設(she)置的檢查模(mo)式，充分符(fu)合(he)人(ren)機(ji)工程學(xue)設(she)計，操作舒適、簡便。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL系列晶(jing)圓(yuan)檢(jian)(jian)查(cha)系統具(ju)有(you)宏觀(guan)檢(jian)(jian)查(cha)手(shou)臂，可(ke)以實現晶(jing)面(mian)宏觀(guan)檢(jian)(jian)查(cha)、晶(jing)背(bei)宏觀(guan)檢(jian)(jian)查(cha)1的360°旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。通過操作桿可(ke)隨意將晶(jing)圓(yuan)傾(qing)斜(xie)觀(guan)察。晶(jing)面(mian)傾(qing)斜(xie)角度≤70°，晶(jing)背(bei)1傾(qing)斜(xie)角度≤90°，晶(jing)背(bei)2傾(qing)斜(xie)角度≤160°，利用旋轉功能、傾(qing)斜(xie) 角度，完全可(ke)以目視檢(jian)(jian)查(cha)整(zheng)個晶(jing)圓(yuan)正反面(mian)及邊緣。
●人機工程學設計
晶圓檢查系統的LCD顯(xian)示(shi)屏(ping)，可為操(cao)作者提供更直觀的視(shi)覺(jue)體驗，可清(qing)晰(xi)的顯(xian)示(shi)當(dang)前檢查項目及次序(xu)，調試參數(shu)一目了然。
晶圓檢查系統的手(shou)動快速(su)釋(shi)放(fang)真(zhen)空載(zai)物臺(tai)可提高操作者的舒(shu)適度和工作效率(lv)。
晶圓缺陷檢查應用案(an)例
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶(jing)圓(yuan)尺寸（SEMI 規格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開放(fang)式片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全檢(jian) / 奇數檢(jian) / 偶(ou)數檢(jian) / 手(shou)動(dong)選擇(ze) | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非(fei)接(jie)觸式(shi)定位平邊 /V 型(xing)槽，支持 0°、90°、180°、270°朝向設置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP濰坊金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
更(geng)多詳(xiang)情，歡迎(ying)大家來電咨詢匯光(guang)科技。
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