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- 蘇州工業園區唯新路83號
AWL系列晶圓檢查系統兼具(ju)穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送(song)晶圓，適合在前道(dao)(dao)到后道(dao)(dao)工(gong)程的晶圓檢(jian)查。
產品詳情
目前，AWL系列(lie)晶圓搬運(yun)機(ji)擁有AWL046、AWL068，AWL812三(san)種(zhong)機(ji)型(xing)，分別(bie)可(ke)適用于 4/6 英(ying)(ying)寸(cun)，6/8 英(ying)(ying)寸(cun)，8/12英(ying)(ying)寸(cun)的晶圓檢(jian)測，其適應范圍廣，且搭配(pei)靈(ling)活 ，可(ke)自(zi)由設置的檢(jian)查(cha)模式，充分符合人(ren)機(ji)工程學設計，操作舒適、簡便。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL系列晶(jing)圓(yuan)檢(jian)(jian)查系統(tong)具(ju)有(you)宏觀(guan)檢(jian)(jian)查手臂(bei)，可以實(shi)現(xian)晶(jing)面宏觀(guan)檢(jian)(jian)查、晶(jing)背(bei)宏觀(guan)檢(jian)(jian)查1的360°旋轉，更為容(rong)易發現(xian)傷(shang)痕和微(wei)塵。通過操作(zuo)桿可隨意將晶(jing)圓(yuan)傾(qing)斜觀(guan)察。晶(jing)面傾(qing)斜角度(du)≤70°，晶(jing)背(bei)1傾(qing)斜角度(du)≤90°，晶(jing)背(bei)2傾(qing)斜角度(du)≤160°，利用旋轉功能、傾(qing)斜 角度(du)，完全可以目(mu)視檢(jian)(jian)查整個(ge)晶(jing)圓(yuan)正(zheng)反面及邊緣。
●人機工程學設計
晶圓(yuan)檢查(cha)系統的LCD顯示屏，可(ke)為操作者提供更直(zhi)觀(guan)的視覺體驗，可(ke)清晰(xi)的顯示當前(qian)檢查(cha)項目及次序，調(diao)試(shi)參數一目了(le)然。
晶(jing)圓檢(jian)查系(xi)統的(de)手動快速釋放(fang)真(zhen)空載物(wu)臺可提高操(cao)作者的(de)舒適(shi)度和(he)工作效率。
晶(jing)圓缺陷檢查應用案例
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸（SEMI 規格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開放式片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全檢 / 奇(qi)數(shu)檢 / 偶數(shu)檢 / 手動選擇 | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式定位平邊 /V 型(xing)槽，支持(chi) 0°、90°、180°、270°朝向設置(zhi) | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP武漢金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
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