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AWL系列晶圓檢查系統兼(jian)具穩定(ding)性(xing)和安全性(xing)，能夠安全可(ke)靠的傳送晶圓，適合(he)在前道到后道工程的晶圓檢(jian)查(cha)。
產品詳情
目前，AWL系(xi)列晶(jing)圓搬運機擁(yong)有AWL046、AWL068，AWL812三(san)種機型，分別可適(shi)用于 4/6 英(ying)寸，6/8 英(ying)寸，8/12英(ying)寸的晶(jing)圓檢測，其適(shi)應范圍廣，且搭配靈活 ，可自由設(she)(she)置的檢查模(mo)式，充分符合人機工(gong)程(cheng)學設(she)(she)計，操作舒適(shi)、簡便。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL系列晶圓檢查系統具有宏(hong)觀(guan)(guan)(guan)檢查手臂，可以(yi)(yi)實現(xian)晶面(mian)(mian)宏(hong)觀(guan)(guan)(guan)檢查、晶背(bei)宏(hong)觀(guan)(guan)(guan)檢查1的360°旋轉(zhuan)，更為容易(yi)發現(xian)傷痕和微塵。通(tong)過操作(zuo)桿(gan)可隨意將晶圓傾斜(xie)觀(guan)(guan)(guan)察。晶面(mian)(mian)傾斜(xie)角度(du)≤70°，晶背(bei)1傾斜(xie)角度(du)≤90°，晶背(bei)2傾斜(xie)角度(du)≤160°，利用旋轉(zhuan)功能、傾斜(xie) 角度(du)，完全(quan)可以(yi)(yi)目(mu)視檢查整個晶圓正反面(mian)(mian)及(ji)邊緣。
●人機工程學設計
晶(jing)圓檢查(cha)系統的LCD顯(xian)示屏(ping)，可為操作者提供(gong)更直觀(guan)的視覺體驗，可清晰的顯(xian)示當前檢查(cha)項目(mu)及次序(xu)，調試參數(shu)一目(mu)了然。
晶圓檢(jian)查系(xi)統的(de)手動快速(su)釋放真(zhen)空載物臺可提高操作(zuo)者的(de)舒適度和(he)工作(zuo)效率。
晶圓缺陷檢(jian)查應用案例
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸（SEMI 規(gui)格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開(kai)放式片(pian)盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全(quan)檢(jian)(jian)(jian) / 奇數(shu)檢(jian)(jian)(jian) / 偶數(shu)檢(jian)(jian)(jian) / 手(shou)動(dong)選擇(ze) | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式(shi)定位平邊 /V 型(xing)槽，支持(chi) 0°、90°、180°、270°朝(chao)向設(she)置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP四川金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
更多(duo)詳情，歡迎大家來電咨詢匯光科技。
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