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AWL系列晶圓檢查系統兼(jian)具穩定性(xing)和安全(quan)性(xing)，能夠(gou)安全(quan)可靠的傳送晶圓，適合在(zai)前道(dao)到后道(dao)工程(cheng)的晶圓檢查。
產品詳情
目前，AWL系列(lie)晶圓搬運機擁有(you)AWL046、AWL068，AWL812三種機型，分(fen)別(bie)可適(shi)用(yong)于(yu) 4/6 英(ying)寸，6/8 英(ying)寸，8/12英(ying)寸的晶圓檢測，其(qi)適(shi)應范圍廣，且搭配靈活(huo) ，可自由設置的檢查模式，充分(fen)符合人機工(gong)程學(xue)設計，操(cao)作(zuo)舒適(shi)、簡便(bian)。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL系(xi)列晶圓(yuan)檢查(cha)系(xi)統具有宏觀檢查(cha)手臂，可以(yi)實現(xian)晶面(mian)宏觀檢查(cha)、晶背宏觀檢查(cha)1的(de)360°旋轉，更(geng)為容易發現(xian)傷痕和微塵(chen)。通過(guo)操作桿可隨意將晶圓(yuan)傾斜(xie)觀察(cha)。晶面(mian)傾斜(xie)角(jiao)度≤70°，晶背1傾斜(xie)角(jiao)度≤90°，晶背2傾斜(xie)角(jiao)度≤160°，利(li)用旋轉功能、傾斜(xie) 角(jiao)度，完全可以(yi)目視檢查(cha)整個晶圓(yuan)正反(fan)面(mian)及邊緣(yuan)。
●人機工程學設計
晶圓檢查(cha)系統(tong)的LCD顯示(shi)屏，可(ke)為操作者提供更直觀的視覺體(ti)驗，可(ke)清晰的顯示(shi)當前檢查(cha)項目及次(ci)序(xu)，調試(shi)參數一目了然。
晶圓檢查系統(tong)的(de)(de)手(shou)動快速釋放真空(kong)載物(wu)臺(tai)可(ke)提高(gao)操作者的(de)(de)舒適度(du)和工作效率。
晶圓缺陷檢(jian)查(cha)應用案(an)例
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓(yuan)尺寸（SEMI 規格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開放式片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全(quan)檢(jian) / 奇數(shu)檢(jian) / 偶數(shu)檢(jian) / 手動選擇 | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接(jie)觸(chu)式定(ding)位平邊 /V 型槽，支持 0°、90°、180°、270°朝(chao)向設置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP南京金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
更多(duo)詳情，歡迎大家來電咨詢(xun)匯光科(ke)技。
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