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設(she)備(bei)精度高(gao)達 1 埃，測(ce)量(liang)穩定性高(gao)達 0.02nm，測(ce)量(liang)時間(jian)只需一(yi)到二秒。可應(ying)用于(yu)光(guang)(guang)阻、半(ban)導(dao)體(ti)(ti)材料、高(gao)分子(zi)材料等薄膜層的厚度測(ce)量(liang)，在半(ban)導(dao)體(ti)(ti)、太陽能、液晶面板(ban)和(he)(he)光(guang)(guang)學(xue)行業以及科研院所和(he)(he)高(gao)校都(dou)得到了廣(guang)泛的應(ying)用和(he)(he)極大的好評。

測量系統規格

1、膜厚測頭指標：

1) 基本功能：獲取薄膜厚度值(zhi)以及 R、N/K 等光譜(pu)

2) *光譜(pu)范圍：380-900nm

3) 光譜(pu)分辨率：小(xiao)于 1nm(波長間隔）

4) 物鏡(jing)標準倍率切換規(gui)格：5×、10×、20×、50×（光(guang)纖孔(kong)徑：200um）

5) 光斑(ban)大(da)小(xiao)：4um（50X 物鏡(jing)）、10um（20X 物鏡(jing)）、20um（10X 物鏡(jing)）、40um（5X 物鏡(jing)）可選（根據配置的(de)物鏡(jing)切(qie)換光斑(ban)大(da)小(xiao)）

6) *膜厚量測范圍與倍(bei)率關系：20nm-50μm（5X）

20nm~40μm（10X）

20nm~20μm（20X）

20nm~10μm（50X）

7) 測量精度：0.2%和 1nm 較大者（不同倍率(lv)一致）；

8) 配置(zhi) CCD 鏡頭，可定位識別(bie)待測區域

9) *重(zhong)復性精度：0.02nm（100nm 硅基 SiO2 樣件，100 次(ci)重(zhong)復測量）

10) *厚度擬(ni)合算法：至(zhi)少擁有 Exact，Robust 和 FFT 三種厚度擬(ni)合算法

11) 測量 n 和 k 值厚度要求：100nm 以上(shang)

12) 單點測量時間(jian)：≤1 秒

13) 光源：鎢(wu)鹵(lu)燈(deng)（2000 小時壽命(ming)）

14) 基板尺寸：更大支持樣(yang)件(jian)尺寸到 150*150mm 

2、樣品臺規格：

1) 可(ke)測晶圓大小：4 寸&6 寸

2) 載物臺移動(dong)范圍：不小(xiao)于 150mm? 150mm

3) 手動(dong)放片，測量點數跟位置(zhi)在 Recipe 中可根據需要編輯

3、測控與分析軟件

1) 光譜測量能力：反射率(lv)光譜測量

2) 數據分(fen)析(xi)(xi)能(neng)(neng)力：膜厚分(fen)析(xi)(xi)能(neng)(neng)力，光學常數（折射(she)率和消(xiao)光系數）

3) 分(fen)析軟件(jian)：擁有不小于(yu) 100 種不同材(cai)料(liao)(liao)的數據庫(ku)，可自由導入新材(cai)料(liao)(liao)文件(jian)；

可(ke)進行不同鍍膜(mo)材料(liao)的建模，模擬鍍膜(mo)膜(mo)系的反射(she)率曲線；軟件界面人性化

設計，測(ce)試數(shu)據(ju)能夠方便的儲存和導出(chu)；免費提供針對不同(tong)材質測(ce)試的 Recipe

程式，并可以新增新材質的(de) recipe；具有膜厚自校準(zhun)標定功能(neng)，配備相應標

準器；至少 5 個軟件(jian)授權許可 License 支持用戶自定義，軟件(jian)不限制拷貝數(shu)量，

支(zhi)持 windows 10 操作系(xi)統

4、測(ce)控與(yu)分析計(ji)算(suan)機

1) 操作系(xi)統(tong)：WIN10 64 位

2) CPU 處理(li)器：Intel 酷睿處理(li)器

3) 內存：≥4G

4) 硬盤：≥500G

5) 顯示(shi)器：≥19 寸

5、配件

1) 標(biao)準 SiO2/Si 標(biao)樣

2) 標準安裝工具一套(tao)

6、環境與能源要求

1) 使用溫度(du)范圍：0 oC - 40 oC

2) 相對(dui)濕度(du)：35% ~ 60% RH

3) 空氣壓力(li)范圍(wei)：750~1014 mbar

4) 供電(dian)(dian)電(dian)(dian)源(yuan)電(dian)(dian)壓：220V AC

5) 正常頻率范圍：49-51Hz

6) 相電(dian)流：有(you)效值小于 1A（220V AC）